X射線光電子能譜儀AXIS ULTRA DLD：采用新開發(fā)的雙模式分析器綜合措施，從數(shù)秒至數(shù)十秒的時間內(nèi)得到數(shù)µm以下的高分辨元素象可靠保障、化學狀態(tài)象，是真正的成象XPS設計標準。

X射線光電子能譜儀AXIS ULTRA DLD特點
 空間分辨率小于3μ_m
• 可集成多種分析技術(shù)
• 延遲線探測器（DLD）系統(tǒng)
• 平行成像和微區(qū)譜圖

X射線光電子能譜儀AXIS ULTRA DLD技術(shù)參數(shù)

●圖像分辨率（邊緣分辨率） 2μm左右
●XPS靈敏度 大面積 11開展，800kcps / 110μmΦ 1，800kcps
27μmΦ 100kcps / （Ag3d5/2發揮重要帶動作用、450W）
●zui小分析直徑（收譜分析） <15μmΦ