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TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀

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產(chǎn)品簡介:TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀堅持先行,利用光學(xué)干涉原理產業,通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜,快速準(zhǔn)確測量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息發展邏輯。反射膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護(hù)膜保供、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜構建、金屬膜、涂層等薄膜測量服務延伸。

 

產(chǎn)品型號(hào)

TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀

主要特點(diǎn)

1共創輝煌、光學(xué)薄膜測量解決方案

2、非接觸進一步、非破壞測量

3大部分、覆蓋單層到多層薄膜

4、核心算法覆蓋薄膜到厚膜

5實際需求、配置靈活解決方案、支持定制化

6、采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠瓷浦\新篇,光譜覆蓋可見光到近紅外范圍

7增產、采用光機(jī)電高度整合一體化設(shè)計(jì),體積小,操作簡便

8行動力、基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理提供有力支撐,輕松解析單層薄膜到多層

9、配置強(qiáng)大核心分析算法:FFT分析厚膜良好、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

TFMS-IV

TFMS-IV(可選)

基本功能

獲取薄膜厚度值以及R逐步顯現、N/K(可選)等光譜

光譜波長范圍

380-800nm

650-1100nm(可選)

測量厚度范圍

50nm-20um

100nm-200um(可選)

測量時(shí)間

<1s

光斑尺寸

0.5-3mm

重復(fù)精度

0.1nm(100nmSiO2/Si)

精度

±1nm or 0.5%

入射角方式

垂直入射

可選配件

1

溫控臺(tái)

 

2

Mapping擴(kuò)展模塊

 

3

真空泵

 


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