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參考價(jià) | 面議 |
- 公司名稱 沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/2/13 19:12:06
- 訪問次數(shù) 299
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產(chǎn)品簡介:TF200薄膜厚度測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理新品技,對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測量及分析範圍。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線紮實做。TF200根據(jù)反射回來的干涉光空間廣闊,用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm提供深度撮合服務,可同時(shí)完成多層膜厚的測試。對(duì)于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值各有優勢。
產(chǎn)品型號(hào) | TF200-VIS | TF200-EXR | TF200-DUV | TF200-XNIR |
主要特點(diǎn) | 快速自然條件、準(zhǔn)確、無損的過程中、靈活發展契機、易用、性價(jià)比高 | |||
應(yīng)用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體(SiO2/SiNx促進進步、光刻膠發力、MEMS,SOI等) LCD/TFT/PDP(液晶盒厚迎來新的篇章、聚亞酰胺ITO等) LED (SiO2共創美好、光刻膠ITO等) 觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等) 汽車(防霧層、Hard Coating DLC等) 醫(yī)學(xué)(聚對(duì)二甲苯涂層球囊/壁厚藥膜等)
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波長范圍 | 380-1050nm | 380-1700nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
厚度范圍 | 50nm-40um | 50nm-300um | 1nm-30um | 10um-3mm |
準(zhǔn)確度(取決于材料0.4%或2nm之間取較大者) | 2nm | 2nm | 1nm | 10nm |
精度 | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm | 3nm |
入射角 | 90° | 90° | 90° | 90° |
樣品材料 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 |
測量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
光斑尺寸(可選微光斑附件薄弱點。) | 2mm | 2mm | 2mm | 2mm |
是否能在線 | 是 | 是 | 是 | 是 |
掃描選擇 | XY可選 | XY可選 | XY可選 | XY可選 |
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