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SGC-10薄膜測厚儀

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產(chǎn)品簡介:SGC-10薄膜測厚儀管理,適用于介質(zhì),半導體業務指導,薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測量改進措施。該薄膜測厚儀,是與美國new-span公司合作研制的積極性,采用new-span公司*的薄膜測厚技術(shù)奮勇向前,基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學常數(shù)(折射率n,消光系數(shù)k)實施體系。它通過分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜組建,用相應(yīng)的軟件來擬合運算,得到單層或多層膜系各層的厚度d發揮,折射率n顯著,消光系數(shù)k。

產(chǎn)品型號

SGC-10薄膜測厚儀

主要特點

1開放以來、非接觸式測量占,用光纖探頭來接收反射光,不會破壞和污染薄膜提供了有力支撐;

2激發創作、測量速度快,測量時間為秒的量級進一步意見;

3增幅最大、可用來測薄膜厚度,也可用來測量薄膜的折射率n和消光系數(shù)k生產能力;

4標準、可測單層薄膜,還可測多層膜系堅持好;

5即將展開、可廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì),半導體特性,液晶等透明半透明薄膜材料傳承;

6、軟件的材料庫中整合了大量材料的折射率和消光系數(shù)建言直達,可供用戶參考多種;

7、內(nèi)嵌微型光纖光譜儀充分發揮,結(jié)構(gòu)緊湊, 光纖光譜儀也可單獨使用發展成就。

8、強大的軟件功能:界面友好重要方式,操作簡便互動式宣講,用戶點擊幾下鼠標就可以完成測量自然條件。便捷快速的保存、讀取測量得到的反射譜數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)處理功能強大開展,可同時測量多達四層的薄膜的反射率數(shù)據(jù)互動互補。一次測量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學常數(shù)等數(shù)據(jù)。材料庫中包含了大量常規(guī)的材料的光學常數(shù)數(shù)據(jù)意向。用戶可以非常方便地自行擴充材料數(shù)據(jù)庫意料之外。

9、儀器具有開放性設(shè)計形式,儀器的光纖探頭可很方便地取出置之不顧,通過儀器附帶的光纖適配器(如圖所示)連接到帶C-mount適用于微區(qū)(>10μm,與顯微鏡放大率有關(guān))薄膜厚度的顯微鏡(顯微鏡需另配)數字化,就可以使本測量儀測量方便。

技術(shù)參數(shù)

1、厚度范圍: 20nm-50um(只測膜厚)各領域,100nm-25um(同時測量膜厚和光學常數(shù)n應用領域,k),根據(jù)薄膜材料的種類進行培訓,其范圍有所不同發展機遇。

2、準確度:     <1nm或<0.5%

3法治力量、重復性:     0.1nm

4全技術方案、波長范圍: 380nm-1000nm

5、可測層數(shù): 1-4層

6共享、樣品尺寸: 樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm

7信息化、測量速度: 5s-60s

8、光斑直徑: 1.2mm-10mm可調(diào)

9生動、樣品臺: 290mm*160mm

10新型儲能、光源: 長壽命溴鎢燈(2000h)

11、光纖: 純石英寬光譜光纖

12引人註目、探測器: 進口光纖光譜儀

13領域、電源:AC110V-240V溝通機製,50HZ-60HZ

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:300mm*300mm*350mm好宣講,重量:18kg


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