產(chǎn)品型號(hào)

ME-L全自動(dòng)高精度穆勒矩陣型橢偏儀

主要特點(diǎn)

1成就、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源重要方式，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

2、可實(shí)現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理效高性，測(cè)量信息量更大模式，測(cè)量速度快、數(shù)據(jù)更加精準(zhǔn)

3提升、基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器配置高品質，可一次測(cè)量獲得全部穆勒矩陣的16個(gè)元素，相對(duì)傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測(cè)量信息

4支撐能力、頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)資源優勢，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜

5、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)特征更加明顯、多種算法模型庫(kù)估算，涵蓋了目前絕大部分的光電材料

6、集成對(duì)納米光柵的分析的可能性，可同時(shí)測(cè)量分析納米結(jié)構(gòu)周期不要畏懼、線寬、線高問題、側(cè)壁角逐漸顯現、粗糙度等幾何形貌信息

技術(shù)參數(shù)

1、應(yīng)用：科研級(jí)/企業(yè)級(jí)

2系統穩定性、基本功能：Psi/Delta拓展基地、R/T、穆勒矩陣等光譜

3實力增強、分析光譜：380-1000nm(支持?jǐn)U展至210-1650nm)

4體系流動性、單次測(cè)量時(shí)間：1-8s

5、重復(fù)性測(cè)量精度：0.005nm

6帶來全新智能、精度(直通測(cè)量空氣)

  橢偏參數(shù):ψ=45±0.05°△=0±0.1°

  穆勒矩陣:對(duì)角元素m=1±0.005實現了超越；非對(duì)角元素m=0±0.005

7新產品、光斑大小：大光斑2-3mm相對開放；微光斑200μm

可選配置

波段選擇

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選擇

自動(dòng):45-90°

手動(dòng):55-75°(5°步進(jìn)),90°

固定:65°

其他選擇

Mapping選擇:100×100mm(供參考,按需定制)

溫控臺(tái):室溫一600C(供參考,按需定制)

可選配件

1

溫控臺(tái)

2

Mapping擴(kuò)展模塊

3

真空泵

4

透射吸附組件