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全自動(dòng)橢偏檢測機(jī)臺(tái)

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產(chǎn)品簡介:全自動(dòng)橢偏檢測機(jī)臺(tái)作為一種小型橢偏集成機(jī)臺(tái)綠色化發展,通過整體高度模塊化至關重要,電、氣路集成技術(shù)效果,實(shí)現(xiàn)不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案使用。全自動(dòng)橢偏檢測機(jī)臺(tái)廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究中各種各向同性,異性薄膜材料的膜厚密度增加、光學(xué)常數(shù)以及一維有效性、二維納米光柵的結(jié)構(gòu)表征;工業(yè)領(lǐng)域新型光電器件行業(yè)所涉及的薄膜(配向膜機遇與挑戰、光刻膠廣泛關註、ITO、發(fā)光薄膜集成技術、封裝薄膜)全片離線化快速掃描測量就能壓製。

 

產(chǎn)品型號(hào)

全自動(dòng)橢偏檢測機(jī)臺(tái)

主要特點(diǎn)

1、支持實(shí)驗(yàn)室研究整體橢偏集成控制測量技術(shù)

2適應能力、支持產(chǎn)線大基片離線自定義多點(diǎn)掃描測量并輸出報(bào)告

3更優美、支持多橢偏方案,多組合集成

4防控、支持測頭模塊以及樣件機(jī)臺(tái)定制化

技術(shù)參數(shù)

自動(dòng)化程度

可變/固定角

應(yīng)用定位

高階高精度型

高精度型

單次測量時(shí)間

0.5-5s

分析光譜

380-1000nm(支持?jǐn)U展至193-2500nm)

Mapping行程

支持100x100mm行程擴(kuò)展

支持樣件尺寸

支持200mm樣件


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