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VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī),勻膠機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體先進的解決方案、晶體、光盤創造更多、制版等表面涂覆工藝宣講活動。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備工藝技術。本機(jī)可以對(duì)涂膜機(jī)腔室進(jìn)行抽真空確定性,使樣品在*真空的狀態(tài)下進(jìn)行涂膜更加廣闊,適用于在空氣中易氧化變質(zhì)的薄膜材料的使用,對(duì)腔體抽真空時(shí)采用樣品卡盤固定樣品講故事。VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)不對(duì)腔體抽真空工作時(shí)利用真空盤吸附的方式將樣品固定在樣品吸盤上非常完善,該設(shè)備可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段全面革新。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同作用,使設(shè)備緩慢提升速度*限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜行業分類,且不會(huì)過多浪費(fèi)基礎上,節(jié)約材料。VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單充分、清理方便結構,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校聽得進、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程新的力量。

 

產(chǎn)品名稱

VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-200PV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃便利性,濕度55%Rh±10%Rh下使用全面展示。

1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口

2深刻認識、電:AC220V 50Hz核心技術,必須有良好接地

3、氣:不需要

4主動性、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm創造性,承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1道路、設(shè)有12組程序高效節能,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段,每段增減速率設(shè)置范圍:100—2000rpm/s,每段時(shí)間范圍:0—60s大局。

2新創新即將到來、樣品可采用真空吸附方式進(jìn)行固定也可采用粘結(jié)或夾持的方式進(jìn)行固定有序推進,操作簡(jiǎn)便設施。

3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa堅定不移。

4組合運用、使用定位工具可將樣件很容易放在中心位置以減少偏心造成震動(dòng)飛片迎難而上。

5積極、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤探索,更換方便簡(jiǎn)單。

6產業、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī)滿意度,無級(jí)調(diào)速可靠性高可持續,適應(yīng)性強(qiáng)主要抓手,維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單噪音低構建,震動(dòng)小創新科技,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定共創輝煌,加速后運(yùn)行平穩(wěn)具有重要意義,可以保證涂厚度的一致性和均勻性。

7大部分、當(dāng)用真空吸附方式固定樣品時(shí)采用無油雙杠真空泵強大的功能,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單解決、操作容易、維護(hù)方便敢於監督、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)幅度。

8、可在惰性氣體氣氛(如Ar重要的作用、N2)下進(jìn)行涂層

9經過、可在真空狀態(tài)下進(jìn)行涂層此時(shí)需要粘接基片或夾持基片的方式對(duì)被涂基片進(jìn)行固定力度。

10明確了方向、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長(zhǎng)勇探新路,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能單產提升。

11、全英文操作系統(tǒng)試驗。

12勞動精神、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止.

13製度保障、控制器采用控制箱預下達,液晶顯示數(shù)值,更直觀可靠統籌推進。

技術(shù)參數(shù)

1方案、電源:220V   50HZ

2關鍵技術、功率:350W/24V

3、轉(zhuǎn)速:500rpm-6000rpm

4深入、可儲(chǔ)存12組程序技術研究,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段,

5深刻變革、每段增減速率設(shè)置范圍:100 rpm s—2000 rpm /s結論,每段時(shí)間范圍:0-60s

6、吸盤規(guī)格:φ100㎜

7質生產力、腔體真空度可達(dá)1Torr(VRD-8機(jī)械泵連續(xù)工作)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:φ250mm×300mm適應性強;重量:25kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

真空吸盤φ100mm

 

1個(gè)

2

卡盤2” 3” 4”

 

1個(gè)

3

無油真空泵

真空泵 

1臺(tái)

4

雙擊旋片真空泵VRD-8

 

1臺(tái)

5

中心定位器

 

1個(gè)

6

滴膠注射器

 

1個(gè)

可選配件

VRD-16機(jī)械泵

機(jī)械泵 

進(jìn)口移液器

 

國(guó)產(chǎn)移液槍

 

其它尺寸的真空吸盤

 

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