離子束刻蝕系統(tǒng)
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- 公司名稱 科睿設備有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 上海市
- 廠商性質(zhì)
- 更新時間 2019/12/18 9:27:49
- 訪問次數(shù) 1091
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離子束刻蝕系統(tǒng)儀器應用:
離子拋光
離子清洗
等離子體灰化
等離子體氧化支撐能力、氮化
表面改性
反應刻蝕
生物醫(yī)藥
傳感器
儀器應用:
離子拋光
離子清洗
等離子體灰化
等離子體氧化、氮化
表面改性
反應刻蝕
生物醫(yī)藥
傳感器
技術參數(shù):
1高效利用,真空系統(tǒng):
尺寸: 72英寸X 50英寸
真空泵:分子泵+機械泵
本底真空:1X10E-7Torr
2特征更加明顯, 樣品臺:
樣品大小:150mm
處理角度:0-180度
旋轉速度:0-20RPM
冷卻:水冷
3講理論, 離子源
孔徑:22厘米
柵格:2個的可能性,鉬材質(zhì)
激發(fā):RF射頻
電性中和:PBN
束流: 200-1000V, 0-1000mA
工作氣體:Ar,Xe,N2,O2,CF4,SF6,CH4,C2H6
SIMS終點監(jiān)測
主要特點:
RF or DC 離子源服務為一體, 8-22厘米Gridded Kaufman離子源
單片樣品傳輸腔
高效率高產(chǎn)量問題,低能量等離子體源
大直徑至150毫米樣品表面處理
<3% 非均勻性
水冷,傾斜全會精神,旋轉
操作簡便緊密相關,小型設備更默契了,皮實耐用
SIMS終點監(jiān)測
全部電腦操作
反應離子刻蝕
單片樣品臺/三片行星式旋轉樣品臺
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