真空快速退火爐 （RTP）為德國優(yōu)尼坦公司生產(chǎn)，分為RTP-100, RTP-150, RSO-200,VPO-300共四個型號提供了有力支撐，分別對應(yīng)4英寸激發創作、6英寸、8英寸進一步意見、12英寸的真空快速退火爐產(chǎn)品增幅最大。

真空快速退火爐 (RTP)技術(shù)規(guī)格：

- 額定溫度：1200攝氏度；

- 升溫速率：150攝氏度/秒生產能力；

- 降溫速度：200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度)標準；

- 溫控均勻性：≤ 1.5%設(shè)定溫度；

- 加熱方式：紅外鹵素?zé)敉晟坪?，頂部及底部加熱?/p>

- 燈管數(shù)量及功率：18支/20千瓦(RTP-100)大面積，24支/21千瓦(RTP-150)；

- 腔體冷卻：水冷方式問題分析；

- 襯底冷卻：氮氣吹掃培養；

- 工藝氣路：MFC控制，多4路 (氮氣、氬氣形式、氧氣建設應用、氫氮混合氣等)；

- 主機尺寸及重量：505mm x 504mm x 420mm (W x D x H)日漸深入，約55Kg動力；

真空快速退火爐 (RTP)儀器特點：

- 真空快速退火爐，有低真空型號(10-3 hPa)可靠保障、高真空型號(10-6 hPa)自然條件；

- 可在不同氣氛環(huán)境下使用，如惰性氣體開展、氧氣互動互補、氫氮混合氣等；

- 控制方式：SIMATIC, SPS人機界面控制意向，7英寸觸摸屏意料之外；

- 可存儲50個程序，每個程序多分為50段控制形式；

- 全自動智能控制置之不顧，包括溫度、時間數字化、氣體流量方便、真空度、循環(huán)水均可自動設(shè)置改革創新；

- 優(yōu)異的溫控均勻性知識和技能，的工藝重現(xiàn)性；

- 小尺寸臺式設(shè)計新模式；

應(yīng)用領(lǐng)域：

- 離子注入/接觸退火實現；

- 快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)組織了，快速熱氧化(RTO)服務體系，快速熱氮化(RTN)；

- 可在真空搶抓機遇、惰性氣氛分析、氧氣、氫氣全面闡釋、混合氣等不同環(huán)境下使用非常激烈；

- SiAu, SiAl, SiMo合金化；

- 低介電材料引人註目；

- 晶體化領域，致密化溝通機製；

- 太陽能電池片鍵合；

等等...

參考客戶：

西安交通大學(xué)管理、西安電子科技大學(xué)顯示、中國科技大學(xué)、江漢大學(xué)效率和安、中科院上海技術(shù)物理所設計能力、中科院蘇州納米所、北京航天儀器研究所深入開展、京東方更為一致、武漢光迅、能華微電子等技術的開發。