產(chǎn)品特點
智能化設(shè)計與操作體驗
7英寸高分辨率觸控屏:支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作的方法,簡化流程實事求是。
雙電池熱插拔系統(tǒng)?:支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè),電池更換無需停機落到實處。
USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級?:便捷導出檢測報告服務水平,并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。
提升制造效率
減少50%自凈時間?:通過量化表面污染數(shù)據(jù)技術創新,縮短設(shè)備維護周期(PM周期)處理方法,提升產(chǎn)線吞吐量。
延長MTBC:結(jié)合顆脸掷m向好?刂撇呗粤晳T,關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。
覆蓋高潔凈場景
半導體制造:晶圓表面進展情況、機臺內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗證的積極性。
精密光學與電子:液晶面板、光學鏡片組件至關重要、醫(yī)療器械的表面污染控制不久前。
符合國際標準
產(chǎn)品嚴格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范,為全球半導體廠商提供標準化檢測工具提升行動。

產(chǎn)品參數(shù)
測量粒徑:
A 0.3um能力建設、2.5um、10um; B 0.3um研究進展、(0.5/1.0/2.5/5.0)um無障礙、10um;
C0.3um、0.5um快速融入、1.0um認為、2.5um、5.0m增強、10um; D 0.5um文化價值、1.0um、1.5um置之不顧、2.0um不斷完善、2.5um、3.0um;
E0,5um合作關系、1.0um著力提升、3.0um、5.0um傳遞、10.0um融合、25.0um; F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;
1、粒徑分布誤差:≤±30%
2相關性、濃度示值誤差:≤±30%
3完成的事情、重復相對偏差:≤±10%FS
4、重疊誤差:≤5%
5穩定、氣體檢測:可測氣體濃度(可選配)
6改造層面、溫度范圍:-40 ~ 120℃
7、檢定標準:ISO14644-1或 JJF1190
8優勢與挑戰、氣泵流速:2.83L/min經驗分享,28.3L/min(可選);
9趨勢、采樣時間:3有力扭轉、6、9一站式服務、12廣度和深度、15、30引領作用、60秒(可選)加強宣傳;
10、檢測模式:數(shù)量模式效率和安;質(zhì)量模式設計能力; 凈效模式;
11深入開展、檢測方式:定時檢測更為一致、循環(huán)檢測可設(shè)置
12、報警方式:自定義數(shù)量報警值技術的開發、質(zhì)量報警值
13研究與應用、限值報警:RS485信號報警或外接聲光報警器
14、法 規(guī) 性:權(quán)限管控更高效、審計追蹤積極影響、電子記錄等
15、合 規(guī) 性:符合ISO 21501-4,JIS B9921
16越來越重要、通訊接口:RS232線上線下、R485、LAN-USB
17醒悟、存儲模式:實時數據顯示、定時存儲可設(shè)置;無限制
18也逐步提升、打印模式:可選配微型打印機打印數(shù)據(jù)
19記得牢、工作條件:5 ~ 45℃、≤90%RH重要的作用,無冷凝
20更多可能性、多種探針可供選擇
