產(chǎn)品參數(shù)
測量粒徑
A 0.3um勞動精神、2.5um、10um; B 0.3um製度保障、(0.5/1.0/2.5/5.0）um預下達、10um;
C0.3um、0.5um統籌推進、1.0um方案、2.5um、5.0m了解情況、10um; D 0.5um深入、1.0um、1.5um重要的、2.0um開展研究、2.5um、3.0um;
E0,5um、1.0um首要任務、3.0um適應性強、5.0um、10.0um先進的解決方案、25.0um; F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;
1拓展、粒徑分布誤差：≤±30%
2、濃度示值誤差：≤±30%
3宣講活動、重復(fù)相對偏差：≤±10%FS
4不斷進步、重疊誤差：≤5%
5、氣體檢測：可測氣體濃度（可選配）
6效率、溫度范圍：-40 ～ 120℃
7規模、檢定標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644-1或 JJF1190
8、氣泵流速：2.83L/min講道理，28.3L/min（可選）發展目標奮鬥；
9、采樣時間：3更多的合作機會、6延伸、9、12有效保障、15大數據、30、60秒（可選）講實踐；
10數字技術、檢測模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式市場開拓； 凈效模式措施；
11、檢測方式：定時檢測要落實好、循環(huán)檢測可設(shè)置
12緊密相關、報(bào)警方式：自定義數(shù)量報(bào)警值、質(zhì)量報(bào)警值
13新技術、限值報(bào)警：RS485信號報(bào)警或外接聲光報(bào)警器
14共同學習、法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計(jì)追蹤深入、電子記錄等
15、合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4前沿技術，JIS B9921
16基礎、通訊接口：RS232、R485、LAN-USB
17對外開放、存儲模式：實(shí)時技術創新、定時存儲可設(shè)置；無限制
18資料、打印模式：可選配微型打印機(jī)打印數(shù)據(jù)
19廣泛應用、工作條件：5 ～ 45℃、≤90%RH橫向協同，無冷凝
20哪些領域、多種探針可供選擇
產(chǎn)品特點(diǎn)
智能化設(shè)計(jì)與操作體驗(yàn)
7英寸高分辨率觸控屏：支持實(shí)時數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程不斷創新。
雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)?：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)建立和完善，電池更換無需停機(jī)。
USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級?：便捷導(dǎo)出檢測報(bào)告參與水平，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能穩定發展。
提升制造效率
減少50%自凈時間?：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設(shè)備維護(hù)周期（PM周期）聯動，提升產(chǎn)線吞吐量增持能力。
延長MTBC：結(jié)合顆粒控制策略行業內卷，關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上服務。
覆蓋高潔凈場景
半導(dǎo)體制造：晶圓表面、機(jī)臺內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗(yàn)證能力和水平。
精密光學(xué)與電子：液晶面板覆蓋、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制研究。
符合國際標(biāo)準(zhǔn)
產(chǎn)品嚴(yán)格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范高效，為全球半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測工具。
