儀器介紹
該儀器(LIBSOPA-100)是激光誘導(dǎo)擊穿光譜分析技術(shù)(LIBS)和原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)(OPA)*結(jié)合的新型分析儀器。激光誘導(dǎo)擊穿光譜原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)(LIBSOPA)通過(guò)高能激光聚焦于樣品表面服務體系，樣品被擊穿形成高溫等離子體說服力，通過(guò)檢測(cè)等離子體光譜信號(hào)，獲得樣品的成分及元素分布信息的技術(shù)分析。其分析原理是：樣品表面被高能激光擊穿形成等離子體表示，等離子體光線經(jīng)過(guò)濾波,分光之后被多通道的光電倍增管檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)。根據(jù)光譜特征譜線波長(zhǎng)得出被擊穿位點(diǎn)的元素種類(lèi);定標(biāo)后對(duì)應(yīng)譜線的強(qiáng)度表示被擊穿位點(diǎn)元素的濃度非常激烈。借助精密三維移動(dòng)平臺(tái)在樣品激發(fā)表面很好的定位和記錄拓展基地，實(shí)現(xiàn)任意點(diǎn)掃描，一維線性掃描實力增強，一維深度分析和二維面掃描分析，并據(jù)此獲得與材料原位置相對(duì)應(yīng)的各元素原始含量及狀態(tài)信息探索創新，可以用統(tǒng)計(jì)解析的方法定量表征材料的偏析度帶來全新智能、疏松度等信息。該方法不但有激光光譜的非接觸分析新產品，微區(qū)分析去完善，深度分析的優(yōu)點(diǎn)，又具備原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)的原位性和統(tǒng)計(jì)性長遠所需。LIBSOPA-100的研制成功為材料成分分析求索，缺陷分析讓人糾結，涂鍍層等樣品的分析應(yīng)用提供了新的技術(shù)手段及質(zhì)量判據(jù)。
激光光譜原位分析儀儀器參數(shù)
激光光源
Continuum SureliteTM III-10 YAG激光器
波長(zhǎng)：1064 nm
能量：800
脈寬：4～6 ns
光束發(fā)散角：0.6 mrads
真空光學(xué)系統(tǒng)
巴邢—龍格架法穩定發展，光柵焦距750 mm
高發(fā)光全息光柵至關重要，刻線為2400條/mm
譜線范圍：170 ~ 800 nm
色散率
一級(jí)色散率：0.55 nm/mm
二級(jí)色散率：0.275 nm/mm
分辨率：優(yōu)于0.01 nm
標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)通道數(shù)量：25個(gè)
樣品掃描定位系統(tǒng)
三維工作臺(tái)
行程：X軸75mm，Y軸75mm服務品質，Z軸100mm
數(shù)控步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)
位置重復(fù)精度為0.01mm
工件zui大重量：12Kg
CCD成像系統(tǒng)
聯(lián)合數(shù)控工作臺(tái)實(shí)現(xiàn)樣品的定位和觀察
視場(chǎng)大械陌l生。?～10mm
聚焦精度：0. 1mm
電源要求
220V/20A
外形尺寸
寬×深×高(105 cm×66 cm×120 cm)
重量
毛重約400 Kg
工作環(huán)境
溫度：18～29℃
濕度：≤60%
激光光譜原位分析儀儀器特點(diǎn)
1. *LIBS技術(shù)與OPA技術(shù)結(jié)合的新型分析儀器，多項(xiàng)技術(shù)影響。
2. 多元素同時(shí)分析新的動力。28個(gè)元素通道，包含C,P,S元素發展契機，線性關(guān)系良好廣泛關註。
3. 預(yù)剝蝕時(shí)間，積分時(shí)間發力，門(mén)控延遲時(shí)間動(dòng)態(tài)可調(diào)優勢領先。
4. 分析簡(jiǎn)便、快速持續創新，無(wú)前處理過(guò)程改善，避免樣品被污染。
5. 分析不受樣品尺寸協調機製，狀態(tài)信息化，導(dǎo)電性，難熔與否的影響實踐者。
6. LIBS具有高靈敏度與高空間分辨率取得明顯成效，非常適合涂層材料、薄膜材料分析數據。
7. 微小燒蝕光斑可進(jìn)行局部微區(qū)分析創新的技術，表面微損分析，適合材料缺陷分析顯著。
8. 非接觸測(cè)量快速增長，響應(yīng)迅速，分析時(shí)間短占，可滿足實(shí)時(shí)分析以及在線分析的要求高質量。
