橋架固定技術研究，工作臺移動的固定橋式結構，為整機提供了更穩(wěn)定可靠的精度基礎開展研究，并確保高速運行時姿勢，振動對精度的影響zui小

主要特征：

*   橋架固定，工作臺移動的固定橋式結構首要任務，為整機提供了更穩(wěn)定可靠的精度基礎綠色化，并確保高速運行時，振動對精度的影響zui小

*   柔性同步帶系統(tǒng)先進的解決方案，兼顧了柔性嚙合與剛性軸向傳動的優(yōu)點拓展，確保高加速度時定位精度，從而提高運動的平穩(wěn)性

*   陶瓷Z軸宣講活動、全花崗巖結構不斷進步，為計量室環(huán)境下的測量提供了穩(wěn)定的高精度

*   Z向采用了可調式氣動平衡設計，提高了機器的動態(tài)性能效率，提升Z軸安全性

*   標配溫度傳感器規模，自動補償由于溫度變化而引起的誤差

*   Y向采用整體式燕尾導軌，提高了機器的精度和重復性

*   中心驅動系統(tǒng)減少偏擺和扭轉講道理，Y向光柵安裝于工作臺的*發展目標奮鬥，阿貝誤差小

*   機器框架采用花崗巖材料構成，厚重且穩(wěn)定更多的合作機會，顯著提高了整機的剛性延伸，并有效地減少了振動的影響

*   采用HEXAGON高分辨率金質光柵，其熱膨脹系數(shù)獲得PTB認證

規(guī)格型號與技術指標:

注：工作環(huán)境為溫度（20±1）℃, 濕度為25%-75%