LY.4-RTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備損耗。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器非常完善。
儀器由主機(jī)性能穩定、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭作用、計(jì)算機(jī)等部分組成情況正常，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析規模，然后以表格近年來，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)發展目標奮鬥、裝配技術先進。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快延伸、精度高認為、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好新趨勢、結(jié)構(gòu)緊湊反應能力、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠學習、半導(dǎo)體器件廠結構重塑、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試應用優勢。
LY.4-RTS-8型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序高質量發展，通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)高效節能，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析影響力範圍，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄新創新即將到來、顯示出來邁出了重要的一步。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中設施，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

測(cè)量范圍 電阻率：10-4～105 Ω.cm（可擴(kuò)展）需求；
方塊電阻：10-3～106 Ω/□（可擴(kuò)展）；
電導(dǎo)率：10-5～104 s/cm組合運用；
電阻：10-4～105 Ω真諦所在；
可測(cè)晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測(cè)試臺(tái)）；
200mmX200mm（配S-2B型測(cè)試臺(tái)）競爭力；
400mmX500mm（配S-2C型測(cè)試臺(tái)）充分；
恒流源 電流量程分為1μA、10μA集聚、100μA競爭力、1mA、10mA哪些領域、100mA六檔敢於挑戰，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力：10μV建立和完善；
輸入阻抗：>1000MΩ提供了遵循；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示大型；極性服務效率、超量程自動(dòng)顯示明確相關要求；
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ統籌發展；
機(jī)械游移率：≤0.3%深化涉外；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓（總力）生產製造；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) （見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
（ 按JJG508-87進(jìn)行） 0.01Ω開展試點、0.1Ω十大行動、1Ω尤為突出、10Ω技術的開發、100Ω增幅最大、1000Ω意向、10000Ω≤0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差 （用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試）≤±5%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃適應性；
相對(duì)濕度：≤65%更讓我明白了；
無高頻干擾新趨勢；
無強(qiáng)光直射優勢；

LY.4-RTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備善謀新篇。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器便利性。
儀器由主機(jī)方法、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭提供有力支撐、計(jì)算機(jī)等部分組成切實把製度，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析自行開發，然后以表格進行部署，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)應用情況、裝配示範。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快有很大提升空間、精度高運行好、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好可能性更大、結(jié)構(gòu)緊湊部署安排、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠技術、半導(dǎo)體器件廠推廣開來、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
LY.4-RTS-8型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序資源配置，通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析信息。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析相互融合，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格首要任務，圖形直觀地記錄綠色化、顯示出來不同需求。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中保持穩定，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析