數(shù)字式四探針測試儀/四探針測試儀/數(shù)字式四探針檢測儀
型號：HHY8-SZT-2000
HHY8-SZT-2000型數(shù)字式四探針測試儀是根據(jù)四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以測量棒狀自主研發、塊狀
半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴散層的薄層電阻進行測量應用，可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻品率、薄層電阻相貫通，是硅材料質(zhì)量監(jiān)測的必需儀器。
儀器為臺式結(jié)構(gòu)積極影響，分為電氣箱自動化方案、測試架兩大部分，用戶可以根據(jù)測試需要安放在一般工作臺或者工作臺上越來越重要，測試架由探頭及壓力傳動機構(gòu)線上線下、樣品架組成，耐磨和使用壽命長的特點醒悟。探頭內(nèi)設(shè)有彈簧壓力裝置講道理，壓力從0—2Kg連續(xù)可調(diào)，測試架設(shè)有手動和電動兩種裝置供用戶選購技術先進。
儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定的恒流源組成更多的合作機會，測量結(jié)果由數(shù)字直接顯示延伸，儀器有自校量程，可以方便地對儀器的電氣性能進行校驗服務好。
儀器具有測量精度高新趨勢、靈敏度高、穩(wěn)定性好共謀發展、測量范圍廣學習、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點聽得懂，儀器適用于半導(dǎo)體材料廠應用優勢、器件廠、科學(xué)研究部門全方位、高等院校高效節能，對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試及工藝檢測。
儀器主要技術(shù)指標：
1． 范圍：電阻率10-4—103Ω—cm深刻認識，可擴展至105Ω—cm核心技術，分辯率為10-6Ω—cm
方塊電阻10-3—103Ω /□
電阻10-6—105Ω
2． 可測半導(dǎo)體尺寸：直徑Φ15—150mm
3． 測量方式：軸向應用提升、斷面均可（手動測試架）
4． 數(shù)字電壓表（1）量程0.2mV主動性、2mV、20mV發展的關鍵、200mV道路、2V
(2)測量誤差 0.2mV檔±（0.3%讀數(shù)+8字）
2 mV檔以上±（0.3%讀數(shù)+2字）
(3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω
20mV檔以上>108Ω
(4)顯示3 1/2位數(shù)字顯示真諦所在，0—1999
具有極性和過載自動顯示指導，小數(shù)點、單位自動顯示
5． 恒流源：（1）電流輸出：直流電流0—100mA連續(xù)可調(diào)充分，由交流電源供給
（2）量程：10μA進一步完善、100μA、1mA競爭力、10mA調整推進、100mA 五檔
（3）電流誤差：±（0.3%讀數(shù)+2字）
6．四探針測試探頭 （1）探頭間距：1mm (2)探針機械游率：±0.3%
(3) 探針：Φ0.5mm (4)壓力：可調(diào)
7. 測試架：
（1）手動測試架：探頭上升及下降由手動操作，可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測試機製性梗阻。
（2）電動測試架：探頭的上升和下降由電動操作不斷創新，設(shè)有自動控制器控制，探頭上升時間1S—99S可調(diào)提供了遵循，探頭下降時間1S—99S可調(diào)參與水平，壓力恒定可調(diào)（由砝碼來設(shè)定）同時設(shè)有腳踏控制裝置由腳踏開關(guān)控制探頭上下運動。
8.電流：220V±10% 50HZ或60HZ：功率消耗<35W
9． 外形尺寸：電氣箱130×110×400mm
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