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AXSYS AL120-WM

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AXSYS AL120-WM 
 
4’’/6’’/8’’晶圓搬送機(jī)及Wafer Mapping
 
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針對(duì)4’’/6’’/8’’晶圓搬送及檢查,整合電動(dòng)臺(tái)著力增加,自動(dòng)OCR智能化,Wafer Alignment,配合wafer mapping系統(tǒng)處理〗ㄔO?梢宰x取上一站的wafer mapping,實(shí)現(xiàn)review助力各行,bincode編輯等前來體驗,并可以繼續(xù)上載mapping,供下一站適用確定性「訌V闊?删幊套詣?dòng)跑位損耗、拍照,減輕人工負(fù)荷非常完善。

設(shè)備優(yōu)勢(shì):
·奧林巴斯AL-120晶圓搬送機(jī)平臺(tái)
·奧林巴斯MX63顯微鏡
·200mm X 200mm 電動(dòng)平臺(tái)
·Z自動(dòng)聚焦
·自動(dòng)wafer Alignment
·OCR Wafer ID 讀取
·可編輯的wafer map性能穩定,適用多種SEMI標(biāo)準(zhǔn)格式
·Bincode的生成和配置
·SECS/GEM 連線



 


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