 | 產(chǎn)品名稱：勻膠機
產(chǎn)品型號：AC200-SE |
勻膠機 型號：AC200-SE 此款勻膠機共有兩種型號：AC200-SE是標準型號分析，AC200-PE是型號表示；AC200精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備非常激烈，這是一種程控伺服型精密勻膠機競爭力所在，可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備上才能達到的穩(wěn)定性和均勻性。這款設(shè)備采用了不銹鋼外殼領域，更加耐久和美觀溝通機製；采用了工業(yè)級別的200W的伺服電機系統(tǒng)和與track設(shè)備相同的設(shè)計和程序，使工藝更具有實際應(yīng)用意義註入新的動力；AC200在同類產(chǎn)品中**的較先達到5000RPM/s的旋轉(zhuǎn)加速度方式之一，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和高的可重復(fù)性。 主要性能指標 1：主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔） 2：內(nèi)腔采用易清潔新型儲能、耐腐蝕的高分子材料（HDPE） 3：旋涂程序：多可存100組程序，每組100步新品技，每個步驟可精確到0.1秒 4：旋涂速度：0-10000rpm 5：旋涂加速度：0-50000rpm/s 6：馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差：＜±1rpm（TN-AC200-SE)範圍；＜±0.1rpm（TN-AC200-PE) 7：轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性：1rpm（TN-AC200-SE);0.1rpm（TN-AC200-PE) 8：AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開關(guān)壓力調(diào)節(jié)和電子水平顯示功能 9：工藝時間設(shè)定：0-3000sec/step紮實做，時間設(shè)置精度：0.1sec 10：支持wafer尺寸：碎片至200mm（8''圓晶） 11：旋涂作業(yè)均勻性：＜±3%在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米測量） 產(chǎn)品特性優(yōu)點 1：**的內(nèi)部緊湊設(shè)計空間廣闊，縮小了設(shè)備的尺寸 2: 采用7英寸觸摸屏控制面板，操作更加便捷 3：采用“密閉碗”設(shè)計，可以適應(yīng)各種材料的勻膠工藝服務品質。 4：標準配置的轉(zhuǎn)速為10000rpm的發生，可以根據(jù)用戶需要進行定制 5：采用工業(yè)級的伺服電機，電機*的設(shè)計可以避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部 6：機身選用耐酸堿影響、耐沖擊新的動力、耐腐蝕不銹鋼，*生銹發展契機，便于清洗廣泛關註。 7：排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺的底部，利于排風(fēng)效率和勻膠的均一性 8：透明可視發力，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋優勢領先，可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光 | 
