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激光共聚焦顯微鏡在材料領(lǐng)域的應(yīng)用

   2019年06月04日 13:56  
  【儀器網(wǎng) 行業(yè)應(yīng)用】光學(xué)顯微鏡是大家熟悉的實驗室儀器之一共創美好,但事實上推動並實現,在實際使用中光學(xué)顯微鏡存在局限,它是一種二維的形態(tài)學(xué)工具覆蓋範圍,因此如果要在高倍率下觀察表面的三維形態(tài)優化程度,特別是縱向方向的形態(tài),通常一定需要使用SEM又進了一步。但有些樣品使用SEM會碰到以下困難:
 
  1多種場景、樣品本身比較大,且不能做分割的器件組規劃,雖然被觀察的部分是微小的局部擴大公共數據,但整個樣品難以放入SEM中。
 
  2帶動擴大、非金屬樣品核心技術體系,且不適合做導(dǎo)電性處理。特別是一些對微小處理很敏感的樣品持續發展。
 
  3必然趨勢、無法測量多種尺寸數(shù)據(jù),比如體積擴大,面積多樣性,粗糙度等等。
 
  針對這些問題新格局,SEM廠家在不斷推出更新的技術(shù)明顯。激光掃描共焦顯微鏡(CF-LSM)就是一種能較為有效彌補這些問題的顯微技術(shù)。
 
  激光共聚焦顯微鏡在材料領(lǐng)域應(yīng)用初探
 
  共聚焦激光掃描顯微鏡的發(fā)展在國外最新,主要為日本技術創新。是從80年代末期開始的,目前在日本重要作用,共聚焦激光掃描顯微鏡已經(jīng)是一種被廣泛采用的技術(shù)持續向好,既用來觀察樣品表面亞微米程度(0.12微米)的三維形態(tài)和形貌,又可以測量多種微小的尺寸充足,諸如體積進展情況、面積、晶粒綠色化發展、膜厚至關重要、深度、長寬用上了、線粗糙度提升行動、面粗糙度等等。
 
  另外關註,它還有以下特點:
 
  1研究進展、使用方便,與一般光學(xué)相似,且全部采用計算機直觀控制創新內容。
 
  2、基本無須制樣,不損傷樣品廣泛關註。不需要做導(dǎo)電處理,也容許大尺寸樣品直接觀察,*不破壞樣品善於監督。
 
  3、幾十秒到一兩分鐘即完成全部的掃描就能壓製,成像更合理,測量采樣工作。該設(shè)備目前已經(jīng)為吉林大學(xué)更優美,哈爾濱工業(yè)大學(xué)用于材料和機械加工方面的研究各方面。

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