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液體顆粒計數(shù)器在濕電子化學(xué)品等級判定中的應(yīng)用
1、概念:濕化學(xué)品是歐美及我國中國臺灣地區(qū)的稱呼(更為普遍)切實把製度,國際上又稱工藝化學(xué)品全方位,我國習(xí)慣稱其為超凈高純試劑高效節能。
2、應(yīng)用:濕化學(xué)品是超大規(guī)模集成電路大局、平板顯示新創新即將到來、太陽能電池、晶圓等制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一有序推進。濕化學(xué)品一般要求超凈和高純設施,對生產(chǎn)、包裝配套設備、運輸及使用環(huán)境的潔凈度都有要求更優質。
3、目的:濕電子化學(xué)品的金屬雜質(zhì)含量越低推進高水平、顆粒度越小脫穎而出,越是可以應(yīng)用于更為先進(jìn)的晶圓制程工藝。所以濕電子化學(xué)品的核心指標(biāo)就是“純凈度”生產創效。液體顆粒計數(shù)器來判定濕化學(xué)品的純度等級結構,以便對應(yīng)的企業(yè)采購對應(yīng)級別的產(chǎn)品。
4優化上下、檢測儀器:PMT-2 液體顆粒計數(shù)器能力建設,防腐型。采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器生產體系,雙精準(zhǔn)流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)建立和完善,可
對鹽酸、硫酸參與水平、硝酸大型、氨水、雙氧水、氫氧化鉀重要意義、氫氧化鈉統籌發展、刻蝕液等化學(xué)品進(jìn)行顆粒檢測。有0.1體系、0.2生產製造、0.5三個檢測段的傳感器供選擇。
5攜手共進、試劑:單酸堿共同、混合液、溶劑類經過。
6簡單化、檢測過程:取一定量溶液;用PMT-2液體顆粒計數(shù)器對液樣進(jìn)行檢測明確了方向,將檢測結(jié)果對照電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表系統性,來判定溶液的級別。見下表:
7單產提升、結(jié)論:目前太陽能電池領(lǐng)域僅需要達(dá)到G1等級就此掀開;顯示面板領(lǐng)域一般要求達(dá)到G2、G3等級今年;集成電路領(lǐng)域穩步前行,8英寸及以下晶圓要求達(dá)到G3、G4水平動手能力,12英寸晶圓需要達(dá)到G5等級逐步顯現。國際上制備G1到G5級濕電子化學(xué)品的技術(shù)已經(jīng)趨于成熟,國內(nèi)大部分企業(yè)已經(jīng)達(dá)到國際G3標(biāo)準(zhǔn)引領,并已開展G4標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)工作自動化裝置。
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