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液體顆粒計數(shù)器檢測電子級強酸強堿

來源: 陜西普洛帝測控技術(shù)有限公司    2024年03月28日 16:47  

1新創新即將到來、單酸堿:硫酸、氨水有序推進、雙氧水設施、磷酸、硝酸堅定不移、鹽酸組合運用、冰醋酸、氫氧化鉀迎難而上、氫氧化鈉等積極。

2、作用:電子級強酸強堿多應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中對零部件的腐蝕和清洗堅持先行,表面處理中集聚。

3、SEMI等級標準:電子化學(xué)品的判定通常采用電子化學(xué)品SEMI國際標準等級表調整推進。

                  電子化學(xué)品SEMI國際標準等級表

SEMI等級

IC線寬

金屬雜質(zhì)

控制粒徑

顆粒(個/mL)

C1

1.2

≤1000(1ppm)

≤1.0

≤25

C7

0.8~1.2

≤10(10ppb)

≤0.5

≤25

C8

0.2~0.6

≤1.0(1ppb)

≤0.5

≤3

C12

0.09~0.2

≤0.1(0.1ppb)

≤0.2









4狀況、判定儀器和液樣:

使用儀器:PMT-2 液體顆粒計數(shù)器,防腐型機製,檢測范圍0.1-1.0um全過程,檢測粒徑0.1、0.2探討、0.5不負眾望、1.0um。

液樣:硫酸調解製度、氫氧化鈉

5精準調控、檢測結(jié)論:

看檢測結(jié)果里的積分值,看≥0.1的粒子數(shù)量深化涉外,≥0.2的粒子數(shù)量體系,≥0.5的粒子數(shù)量。參照數(shù)量的個數(shù)來判定所測樣品達到那個級別的開展試點。

應(yīng)用:化學(xué)品生產(chǎn)商一般在實驗室使用離線取樣檢測的方式攜手共進。抽取產(chǎn)線上數(shù)個液樣,按照批次來進行檢測。反應(yīng)所生產(chǎn)液樣的工藝是否達標經過。

6簡單化、注意事項:

確保儀器的準確性:在使用前應(yīng)對儀器進行校準,以確保檢測結(jié)果的準確性明確了方向。
避免交叉污染:清洗容器系統性,避免容器壁上的顆粒進入檢測液樣;在百級清潔環(huán)境里進行檢測單產提升,避免空氣中的大顆粒進入檢測液樣傳遞。

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