測量項目

點(diǎn)空白區、直線、圓信息化、部分圓形勢、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑平臺建設、圓心距服務機製、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離等）使用、點(diǎn)薄弱點、點(diǎn)、距離優化程度、角度處理（坐標(biāo)夾角、直線夾角）奮勇向前、直線度不斷豐富、槽深、槽寬組建、溝邊距各有優勢、溝心距、水平距重要的意義、凸度（對數(shù)曲線）持續、輪廓度等參數(shù)

測量范圍

X軸（橫導(dǎo)軌）

150mm

Z1軸（傳感器）

60mm

Z軸（立柱）

500mm

測量精度

X軸

(L=X軸導(dǎo)軌移動距離)

±(1+L/300)μm

Z1軸

(H=Z1軸方向測量高度)

±(0.8+2H/100) μm

X軸水平臂

直線度

1.2μm/150mm

光柵分辨率

0.05μm

光柵產(chǎn)地

進(jìn)口

Z1軸傳感器

分辨率

0.02μm

傳感器類型

光柵傳感器

產(chǎn)地

進(jìn)口

移動方向

前/后 雙方向

測力

0.5-6g

測針針尖

硬質(zhì)合金 R：0.05mm、0.01mm

爬坡角度

上升77度 下降88度

速度

測量速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）

定位速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）

圖形放大/縮小

圖形放大

可任意縮小再獲、放大

綜合調(diào)整臺

綜合調(diào)整臺

X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°

Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm

Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置）

安裝要求

電源

220-240V  AC, 50HZ產品和服務，單獨(dú)地線；功率消耗450W

壓縮空氣

純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP體驗區，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP增多，0.25m3 /min以上）

環(huán)境要求

工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無結(jié)露）有望，良好地線進一步推進，無明顯振源