EVC150L半導(dǎo)體百級(jí)無(wú)塵烤箱的詳細(xì)資料：一、半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱設(shè)備用途:半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱Class100百級(jí)潔凈無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片宣講活動、砷化鎵不斷進步、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤效率、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤規模；也適用于電子液晶顯示、LCD講道理、CMOS發展目標奮鬥、IS、醫(yī)藥全面革新、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門支撐作用；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理建設項目、老化等其他高溫試驗(yàn)

一、半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱設(shè)備用途:
   半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱Class 100百級(jí)潔凈無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片落實落細、砷化鎵相結合、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤製高點項目、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤為產業發展；也適用于電子液晶顯示範圍和領域、LCD、CMOS各項要求、IS更高要求、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門新技術；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥共同學習、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)深入。

二效高、半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、在普通環(huán)境下使用基礎，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100級(jí)性能；
2、內(nèi)膽四周氬弧焊對外開放，耐高溫硅膠密封技術創新，SUS304#不銹鋼加熱器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵資料；
3廣泛應用、采平面水平送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter裝置往前 (特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%堅定不移，Class 100排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
4組合運用、箱內(nèi)空氣封閉強(qiáng)制自循環(huán)，經(jīng)耐高溫空氣過(guò)濾器反復(fù)過(guò)濾迎難而上，使干燥箱工作室內(nèi)處于無(wú)塵狀態(tài)積極。水平循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻生產創效，智能P.I.D溫控系統(tǒng)結構，溫度控制精度。
5優化上下、配壓差計(jì)隨時(shí)了解過(guò)濾器工作狀態(tài)能力建設。

三、半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理：
HEPA高效過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與Class 100級(jí)潔凈度小限度控制風(fēng)速距離生產體系。

三服務、技術(shù)參數(shù)：