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AQS系列全自動清洗甩干機是根據(jù)半導體產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和市需求而研發(fā)的全自動清洗甩干設(shè)備，具有高潔凈度旋轉(zhuǎn)清洗甩干功能
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| AQS系列全自動清洗甩干機是根據(jù)半導體產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和市需求而研發(fā)的全自動清洗甩干設(shè) 備優勢領先，具有高潔凈度旋轉(zhuǎn)清洗甩干功能迎來新的篇章。主要用于硅圓片、太陽能電池等類似材料的清洗甩干推動並實現。是光伏薄弱點、半導 體濕法清洗工藝中的主要設(shè)備之一。 AQS系列機型針對不同用戶優化程度、不同工藝要求積極性、不同應用場合開發(fā)了系列化機型。用戶可按自已的要求和不 同工藝選擇適合自已的機型型號和功能配置要求不斷豐富。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 系統(tǒng)構(gòu)成 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 整機采用4實施體系、6或8工位式組合結(jié)構(gòu)，適用于103mm擴大公共數據，125mm深度， 156mm三種規(guī)格的硅片，實現(xiàn)包括旋轉(zhuǎn)清 洗甩干核心技術體系、氮氣烘干開拓創新、腔體干燥持續發展、工作完成自動開門、工況顯示和故障報警在內(nèi)的全自動工藝處理過程促進善治。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 結(jié)構(gòu)與特點 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 外觀新穎擴大、簡潔、流暢發揮效力。主要部件采用不能磁化的不銹鋼材料新格局。 工作過程中，清洗工作腔與外界密封隔離服務水平。 工作腔最新、旋轉(zhuǎn)支架及載片架均采用耐腐蝕不銹鋼，表面經(jīng)特殊嚴電化學處理處理方法； 旋轉(zhuǎn)機構(gòu)經(jīng)精密的動重要作用、靜平衡校驗，保證系統(tǒng)工作時的平衡性習慣、減少振源的產(chǎn)生充足。 精密的動、靜平衡保證使得放硅片盒夾具與甩干機的位置無需一一對應的積極性，操作方便綠色化發展。 采用寬頻率的特種阻尼器，精密減震及阻尼不久前。使系統(tǒng)具有良好的減震效果用上了。 采用驅(qū)動電機，進口變頻器能力建設，提速平穩(wěn)關註；采用磁力平衡制動，速度快無障礙，制動平均時間小于20秒連日來。 特制噴頭和氣液流體控制系統(tǒng)，全自動切換控制認為。 管道集成技術、閥門、接頭采用304不銹鋼更合理、聚四氟材料和高純管件適應能力。 采用氣缸實現(xiàn)自動開門手動關(guān)門，平穩(wěn)安全可靠有所應。 工作中采用防靜電控制足了準備。 頂蓋采用硅橡膠加熱板輔助加熱系統(tǒng)，保證頂蓋烘干后干燥不滴水。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 控制系統(tǒng) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 采用PLC可編程控制器及保色觸摸顯示屏.程序控制智能化深刻內涵。 程序設(shè)計可靠傳遞。速度調(diào)節(jié)，溫度調(diào)節(jié)深入闡釋，時間調(diào)節(jié)等每道程序指令用戶都可以在觸摸屏上任意設(shè)定相關性、修改、保存物聯與互聯。 運行過程穩定、內(nèi)容、信息（包括故障信息）在工作過程中均在觸摸顯示屏漢顯供給，操作人員對設(shè)備的工藝步驟優勢與挑戰、運行狀態(tài)一目了然。 采用電子變頻調(diào)速技術(shù)無級調(diào)速解決方案，速度提升變換穩(wěn)定趨勢。 系統(tǒng)軟件具有故障實時顯示及報警功能。 所有電控元器件均采用國際國內(nèi)品牌上高質量。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 安全與保障 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 采取了水一站式服務、氣過程狀態(tài)監(jiān)控、門位置狀態(tài)監(jiān)控與互鎖深入交流、氮氣加熱溫度實時監(jiān)控引領作用、緊急停止開關(guān)等相關(guān)措施； 采用微處理器檢測實時工作狀態(tài)臺上與臺下。具有關(guān)門故障報警用的舒心、超溫報警、驅(qū)動電機過載報警集聚效應、低油位報警深入開展、制動故障報警、多種傳感器故障報警等應用； 具有整機漏電保護裝置和接地端子。
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