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TAC-100 全自動硅片插片機(jī)

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一有所增加、主要參數(shù)1.外形尺寸2800L×2200W×2100H(mm)2.花籃規(guī)格100片3.硅片尺寸156mm4.硅片厚度150~200um5.適用硅片砂漿線(單晶硅、多晶硅)更高要求、金剛線(單晶硅越來越重要的位置、多晶硅)

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一效高化、主要參數(shù)

1. 外形尺寸    2800L×2200W×2100H(mm)

2. 花籃規(guī)格    100片

3. 硅片尺寸    156mm

4. 硅片厚度    150~200um   

5. 適用硅片    砂漿線(單晶硅首次、多晶硅)、金剛線(單晶硅勞動精神、多晶硅)效高。

6. 發(fā)片效率    7000片/小時(未包含換盒及上料時間)

7. 碎片率      ≤0.2% (除硅片自身原因)

8. 控制系統(tǒng)    PLC可編程控制器前沿技術,交流伺服系統(tǒng)

9.照像系統(tǒng)     檢測碎片和疊片并自動分選

10.氣壓        0.5~0.55Mpa 干燥氣體

11.氣源流量    進(jìn)氣管口徑≥10mm

12.電源        AC220V(單相三線)基礎、50HZ

13.設(shè)備功率    3.0KW

二.特點(diǎn)介紹

1. 硅片帶離原理:

我們摒棄常規(guī)直接吸取硅片方式而是通過吸水(硅片和輸送帶始終有一定的間距),使得分離后的硅片會順著水流方向靠向輸送帶無接觸式帶離多種方式,對硅片無任何損傷對外開放。同時該技術(shù)已為超薄(<140mm)的硅片使用全自動插片機(jī)奠定了基礎(chǔ)深入交流研討;

分片機(jī)構(gòu)可對任何狀態(tài)的硅片進(jìn)行均勻分離資料;

以上二項(xiàng)技術(shù)南亞自行研發(fā),并已申請二項(xiàng)發(fā)明積極拓展新的領域。

2.硅片的帶片速度取決于輸送帶的轉(zhuǎn)速,非開關(guān)模式的運(yùn)行模式連續(xù)又平穩(wěn)更優質;轉(zhuǎn)速根據(jù)工況設(shè)定(通常分片速度為7000/小時)相對開放;

3.帶片/上料部分結(jié)構(gòu)簡易合理;水下幾乎無運(yùn)動部件脫穎而出,極大地減少使用過程中對設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)工作拓展應用;

4.硅片上料盒可在前道工序脫膠后直接裝入硅片,減少周轉(zhuǎn)環(huán)節(jié)結構,方便操作人員實(shí)現(xiàn)一人多機(jī)工作管理;

5.異常硅片經(jīng)視覺系統(tǒng)判斷后采用硅片分選機(jī)原理,對異常硅片識別后自動分離能力建設;

6.為避免水路堵塞模樣,水箱帶過濾功能,水路帶反沖功能服務。

三.控制系統(tǒng)

1. 采用三菱可編程控制器很重要,功能齊全運(yùn)行可靠;

2. 運(yùn)行模式和程序參數(shù)均可在觸摸屏上設(shè)定 覆蓋;

3. 配置三菱交流伺服系統(tǒng)進(jìn)行高精度定位異常狀況;

4. OMRON高靈敏度傳感器監(jiān)控,實(shí)現(xiàn)設(shè)備完備的系統(tǒng)運(yùn)行保障高效;

5. 動態(tài)日志管理應用創新;

6. 故障監(jiān)控、診斷機構、報警及設(shè)備保養(yǎng)需求的自動生成的特性。

 四.視覺系統(tǒng)

1. 德國堡盟(Baumer)視覺系統(tǒng)對輸送過程中異常硅片進(jìn)行視覺判斷』A;谳喞墓ぷ髂J焦餐?,360°目標(biāo)識別功能確保全面、可靠的特征檢查

2. 硅片異常的范圍(精度)用戶可根據(jù)實(shí)際需要自行設(shè)定經過;

3. 采用紅外光源簡單化,減小外部光源對檢測結(jié)果的影響力度;

4. 支持IE瀏覽器遠(yuǎn)程查看



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