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P-17 臺(tái)階儀

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P-17是第八代臺(tái)式探針輪廓儀,是40多年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶進一步意見。該系統(tǒng)業(yè)界進行探討,支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度服務水平、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量最新,其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器處理方法、恒力控制和超平掃描平臺(tái)重要作用,因而具備出色的測(cè)量穩(wěn)定性。 通過點(diǎn)擊式平臺(tái)控制活動上、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能有望,程序設(shè)置簡(jiǎn)便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡導向作用、調(diào)平和分析算法方案,可以支持2D或3D測(cè)量。 并通過圖案識(shí)別十大行動、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量左右。

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P-17 Stylus Profiler




  P-17支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度可靠保障、粗糙度自然條件、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接開展。


產(chǎn)品描述

P-17是第八代臺(tái)式探針輪廓儀互動互補,是40多年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。該系統(tǒng)業(yè)界意向,支持對(duì)臺(tái)階高度意料之外、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量形式,其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接置之不顧。


該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺(tái)數字化,因而具備出色的測(cè)量穩(wěn)定性方便。 通過點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能各領域,程序設(shè)置簡(jiǎn)便快速應用領域。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法深入闡釋,可以支持2D或3D測(cè)量更加廣闊。 并通過圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量提高。


主要功能

  •       臺(tái)階高度:幾納米至1000μm

  •       微力恒力控制:0.03至50mg

  •       樣品全直徑掃描可以使用,無(wú)需圖像拼接

  •       視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)

  •       圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

  •       軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面

  •       生產(chǎn)能力:通過測(cè)序、圖案識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化


主要應(yīng)用

  •       臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度

  •       紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

  •       形狀:2D和3D翹曲和形狀

  •       應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

  •       缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌


工業(yè)應(yīng)用

  •       大學(xué)紮實、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

  •       半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

  •       LED:發(fā)光二極管

  •       太陽(yáng)能

  •       MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)

  •       數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

  •       汽車

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