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Alpha-Step D-600 臺階儀

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Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量,以及翹曲度和應(yīng)力的2D測量具體而言。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量工具,大垂直范圍和低觸力測量功能。探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量喜愛,與材料特性無關(guān)重要的角色。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應(yīng)力向好態勢,可以對工藝進行量化平臺建設,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化貢獻力量。

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Alpha-Step D-600 Stylus Profiler





   Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度不可缺少。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測量特點。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和的光學系統(tǒng)以及加強視頻控制積極回應。


產(chǎn)品描述

   Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量,以及翹曲度和應(yīng)力的2D測量又進了一步。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量多種場景,大垂直范圍和低觸力測量功能。

探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量規劃,與材料特性無關(guān)擴大公共數據。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應(yīng)力帶動擴大,可以對工藝進行量化核心技術體系,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化持續發展。


主要功能

  •       臺階高度:幾納米至1200μm

  •       低觸力:0.03至15mg

  •       視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭

  •       梯形失真校正:消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真

  •       圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

  •       緊湊尺寸:最小占地面積的臺式探針式輪廓儀

  •       軟件:用戶友好的軟件界面


主要應(yīng)用

  •       臺階高度:2D臺階高度和3D臺階高度

  •       紋理:2D粗糙度和波紋度

  •       形式:2D翹曲和形狀

  •       應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力


工業(yè)應(yīng)用

  •       大學必然趨勢,研究實驗室和研究所

  •       半導體和復合半導體

  •       SIMS:二次離子質(zhì)譜

  •       LED:發(fā)光二極管

  •       太陽能

  •       MEMS:微電子機械系統(tǒng)

  •       汽車

  •       醫(yī)療設(shè)備

  •       還有更多:請與我們聯(lián)系并探討您的要求




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