石英管式微波等離子體發(fā)生裝置1、微波2.45GHz的發生；0～500W或0～1000W足額功率組成部分，連續(xù)可調(diào)；2新的動力、本底真空不劣于10Pa的過程中；工作氣體分3路控制流(入)量；

石英管式微波等離子體發(fā)生裝置
  (一)性能概況
1廣泛關註、微波2.45GHz促進進步；0～500W或0～1000W足額功率，連續(xù)可調(diào)優勢領先；
2迎來新的篇章、本底真空不劣于10Pa；工作氣體分3路控制流(入)量推動並實現；
3空白區、Φ50mm或Φ90mm石英管反應(yīng)室，置于微波系統(tǒng)和真空系統(tǒng)的偶合點(diǎn)上重要的角色；
4、制冷循環(huán)水冷卻向好態勢。
                                (二)典型實(shí)驗(yàn)
1平臺建設、化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜、碳納米材料等貢獻力量；
2使用、集成電路等的刻蝕；
3發行速度、可催化引發(fā)常規(guī)化學(xué)很難實(shí)現(xiàn)的反應(yīng)更加堅強；
4、高分子性能、金屬初步建立、生物材料表面改性。
                                 (三)產(chǎn)品特色
1、微波準(zhǔn)零泄漏的方法，確保人身安全實事求是；
2、微波足額功率落到實處，等離子體活力強(qiáng)勁服務水平；
3、樣品升降架精巧豪技術創新，可加熱可冷卻處理方法；
4、制冷循環(huán)水避免長流水費(fèi)水?dāng)_民持續向好；
5習慣、循環(huán)水機(jī)可聯(lián)機(jī)可獨(dú)立使用；
6進一步推進、缺水保護(hù)報(bào)警功能完善可靠導向作用；
7、排氣口有環(huán)保型油霧過濾器應用的選擇；
8十大行動、電控系統(tǒng)功能完善靈便醒目；
9背景下、整機(jī)造型典雅大氣綜合措施。