· 直線電機(jī)高精度龍門運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)

· 兼容拋光合規意識、未拋光、透明及非透明晶圓測(cè)量有效性。

· 共面氣浮移動(dòng)軸承確保樣品的移動(dòng)獲得的平面度及平順性

· 兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品（可擴(kuò)展至300mm 12英寸產(chǎn)品）

· 晶圓的測(cè)量厚度范圍為10um-20mm

· 抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機(jī)架

· 掃描速度1m/s

· 可自定義生成快速便捷的自動(dòng)化測(cè)量模式

· 直觀簡(jiǎn)單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式

· 適用于厚度，TTV機遇與挑戰，LTV廣泛關註，TIR，Sori集成技術，Taper具有重要意義，Bow和Warp 測(cè)量參數(shù)及標(biāo)準(zhǔn)

激光測(cè)量技術(shù)

選型要求