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MINISCAN 顯微掃描系統(tǒng)

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應(yīng)用場景:半導(dǎo)體晶圓檢測相貫通、精密光學(xué)測量、表面高速掃描積極影響、飛拍自動化方案、金屬金相檢測主要特征:高速高精度系統(tǒng)能夠快速獲取樣品表面的精密特征,同時(shí)由于采用了模塊化的設(shè)計(jì)越來越重要,測量系統(tǒng)可以適應(yīng)不同的測量任務(wù)以及對(duì)自動(dòng)化線上線下、測量舒適性和準(zhǔn)確性的個(gè)性化要求

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

應(yīng)用場景:

半導(dǎo)體晶圓檢測、精密光學(xué)測量醒悟、表面高速掃描數據顯示、飛拍、金屬金相檢測

主要特征:

高速高精度系統(tǒng)能夠快速獲取樣品表面的精密特征也逐步提升,同時(shí)由于采用了模塊化的設(shè)計(jì)記得牢,測量系統(tǒng)可以適應(yīng)不同的測量任務(wù)以及對(duì)自動(dòng)化、測量舒適性和準(zhǔn)確性的個(gè)性化要求重要的作用。根據(jù)測量任務(wù)更多可能性,可以靈活選擇各種傳感器,軸系統(tǒng)和軟件模塊也可以單獨(dú)組合足夠的實力。

成功應(yīng)用案例:
根據(jù) DIN EN ISO 4287 進(jìn)行粗糙度測量
形貌測量(包括體積緊迫性、磨損、各向同性)
宏觀和微觀幾何的測量
確定平面度和共面度

晶圓厚度(特定材質(zhì))


主要配置:

XY軸 采用直線電機(jī)配合精密交叉滾柱導(dǎo)軌更適合,擁有優(yōu)秀的直線度高效、平面度以及動(dòng)態(tài)性能
Z軸 采用直線電機(jī)配合精密直線滾柱導(dǎo)軌,具由的剛性以及微步距性能要素配置改革,采用了無阻尼氣動(dòng)平衡機(jī)構(gòu)體系,讓Z軸擁有極大的負(fù)載能力水平,同時(shí)集成了抱閘機(jī)構(gòu)也保證了情況下光路的安全性及穩(wěn)定性核心技術體系。
花崗巖及精密隔振機(jī)構(gòu)保證在高倍率顯微掃描時(shí)也能獲得清晰穩(wěn)定的圖像開拓創新。
可以選配各種不同的傳感器持續發展,適應(yīng)不同的應(yīng)用場景應用提升。






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