型號(hào)MR200

控制

腳步開(kāi)關(guān)控制（上/下）

晶圓承載臺(tái)角度

螺旋測(cè)微儀控制核心技術體系，可粗/精調(diào)節(jié)開拓創新，分辨率10µm（0.006°）

劃片力量

可調(diào)（通過(guò)氣壓閥）

晶圓承載臺(tái)旋轉(zhuǎn)

90°固定旋轉(zhuǎn)

刀頭速度

可調(diào)

X-Y位移臺(tái)

手動(dòng)積極拓展新的領域，有效行程200x200mm極致用戶體驗，帶有粗/精微調(diào)螺絲，精20mm/10mm

刀頭角度

可調(diào)

劃片距離

200mm

刀頭高度

可調(diào)解決問題，以用于不同厚度的樣品

氣壓要求

6bar（對(duì)于硅晶圓發展的關鍵，使用1.9bar)

顯微鏡

高質(zhì)量4倍變焦體系，放大倍數(shù)8X/40X，無(wú)極調(diào)整

光源

冷光源帶動產業發展，環(huán)狀責任製，220V

目鏡十字線(xiàn)

用于根據(jù)參考標(biāo)準(zhǔn)、結(jié)構(gòu)倍增效應、邊界或其它精密調(diào)整劃線(xiàn)

晶圓厚度

所有硅晶圓標(biāo)準(zhǔn)厚度

光學(xué)元件分辨率

40X時(shí)優(yōu)于10µm

可切割材質(zhì)

硅規則製定、藍(lán)寶石等

晶圓承載臺(tái)

抽真空，直徑100/200mm

可選

視頻系統(tǒng)/圖像處理系統(tǒng)優化服務策略、可選更大放大倍率/分辨率的光學(xué)元件

1關規定、 數(shù)字測(cè)量

100mm/200mm橫向移動(dòng)發展基礎。25mm測(cè)微計(jì)可以由數(shù)字測(cè)微計(jì)量計(jì)替代。

可選的數(shù)字計(jì)量計(jì)測(cè)量范圍100mm/200mm建強保護，讀數(shù)10um同期，這個(gè)選項(xiàng)能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的劃線(xiàn)距離可以與90度旋轉(zhuǎn)的晶片夾相連，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的劃線(xiàn)使命責任。只有精定可以擴(kuò)展到100mm代替25mm效果、100mm和200mm數(shù)字計(jì)量計(jì)在結(jié)構(gòu)上有一些不同，當(dāng)100mm數(shù)字計(jì)量計(jì)通過(guò)粗定位不能測(cè)量時(shí)合規意識，200mm將被使用密度增加，因?yàn)闄C(jī)械施力更高，MR200可以擴(kuò)展到500mm機(jī)械寬度創新內容。

2機遇與挑戰、 相機(jī)適配器升級(jí)套裝

CCD相機(jī)適配器升級(jí)套裝由顯微鏡組建群構(gòu)成。此外善於監督，相機(jī)和用于圖像處理的顯示器或PC是的集成技術，客戶(hù)能自行選擇。

3 更合理、 彩色視頻系統(tǒng)

lUSB 2.0 CCD相機(jī)

l一體化計(jì)算機(jī)

l圖像處理軟件

l與相機(jī)適配器相連的升級(jí)套裝能通過(guò)目鏡和顯示器同時(shí)監(jiān)測(cè)顯微鏡圖像

圖像處理系統(tǒng)有如下的功能：

l相機(jī)圖像由顯示器直播視頻

l圖像格式JPG或者BMP適應能力，可以存儲(chǔ)、加載和文字

l十字標(biāo)線(xiàn)有所應、柵格和標(biāo)尺

l可測(cè)量：距離、角度預期、半徑敢於監督、范圍和長(zhǎng)度

4、 線(xiàn)寬測(cè)量

圖像處理軟件另一個(gè)擴(kuò)展工具是線(xiàn)寬的測(cè)量結構，這個(gè)模塊用于半導(dǎo)體行業(yè)高精度的寬度和距離的測(cè)量重要的作用。測(cè)量是通過(guò)圖像的灰度值分布實(shí)現(xiàn)。不需要手動(dòng)設(shè)定標(biāo)記規模最大。

5穩中求進、 MR200基本配置

一般來(lái)說(shuō)，MR200不配備顯微鏡和光源最深厚的底氣，客戶(hù)可以自己使用自己的相關(guān)組件協同控製。顯微鏡必須有一個(gè)大約70mm的工作距離。

6品質、 氣動(dòng)電源發(fā)生器

電磁鐵驅(qū)動(dòng)電源利用好，如果這種方式電力不足，可采用氣動(dòng)電源解決問題。

精確的劃線(xiàn)系列，容易的操作：晶片被裝載定位后作用，顯微鏡聚焦在晶片表面，通過(guò)手動(dòng)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的x和y方向移動(dòng)慢體驗。劃線(xiàn)能調(diào)節(jié)到參考的標(biāo)記或樣品的位置著力增加。高質(zhì)量的變焦顯微鏡能快速改變距離，實(shí)現(xiàn)樣品的整體視圖和詳細(xì)監(jiān)測(cè)科技實力。通過(guò)工作臺(tái)的x/y方向微調(diào)功能處理，能實(shí)現(xiàn)精確定位。金剛刀的著陸點(diǎn)是可調(diào)的勃勃生機。目鏡或顯示器的十字標(biāo)線(xiàn)能確定金剛刀的著陸點(diǎn)助力各業，通過(guò)腳踏開(kāi)關(guān)控制升降。因此金剛刀的移動(dòng)可以通過(guò)雙手控制的提供有力支撐。