蔡司Crossbeam系列的FIB-SEM結(jié)合了場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）出色的成像和分析性能規劃，和新一代聚焦離子束（FIB）優(yōu)異的加工性能。無論
是在科研或是工業(yè)實(shí)驗(yàn)室可以使用，您都可以在一臺(tái)設(shè)備上實(shí)現(xiàn)多用戶同時(shí)操作進入當下。得益于蔡司Crossbeam系列模塊化的平臺(tái)設(shè)計(jì)理念，您可以根據(jù)自己需求的
變化隨時(shí)升級(jí)儀器系統(tǒng)效高化。在加工新體系、成像或是實(shí)現(xiàn)三維重構(gòu)分析時(shí)，Crosssbeam系列都將大大提升您的應(yīng)用體驗(yàn)發展機遇。
使用Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)長效機製，您可以從高分辨率SEM圖像中提取真實(shí)樣本信息
使用新的lon-sculptor FIB鏡筒以及全新的樣品處理方式，您可以大限度地提高樣品質(zhì)量全技術方案、降低樣品損傷分享，同時(shí)大大加快實(shí)驗(yàn)操作過程
使用lon-sculptor FIB的低電壓功能，您可以制備超薄的TEM樣品信息化，同時(shí)將非晶化損傷降到非常低
或使用Crossbeam 550實(shí)現(xiàn)更苛刻的表征經驗分享，大倉(cāng)室甚至為您提供更多選擇
按照以下步驟，高效率趨勢、高質(zhì)量地完成制樣
Crossbeam 為制備超薄有力扭轉、高質(zhì)量的TEM樣品提供了一整套解決方案，您可以高效地準(zhǔn)備樣品一站式服務，并在TEM或STEM上實(shí)現(xiàn)透射成像模式的分析廣度和深度。
1．自動(dòng)定位-感興趣的區(qū)域（ROI）輕松導(dǎo)航
您可以不費(fèi)功夫地找到感興趣的區(qū)域（ROI）
使用樣品交換室的導(dǎo)航相機(jī)對(duì)樣品進(jìn)行定位
2．自動(dòng)制樣-從體材料開始制備薄片樣品
您可以通過簡(jiǎn)單的三個(gè)步驟制備樣品：ASP（自動(dòng)樣品制備）
定義參數(shù)包括漂移修正引領作用，表面沉積以及粗切加強宣傳、精細(xì)切割
FIB鏡筒的離子光學(xué)系統(tǒng)保證了工作流程具有的通量
將參數(shù)導(dǎo)出為副本臺上與臺下，進(jìn)而可以重復(fù)操作實(shí)現(xiàn)批量制備
3．輕松轉(zhuǎn)移-樣品切割、轉(zhuǎn)移機(jī)械化
導(dǎo)入機(jī)械手技術發展，將薄片樣品焊接在機(jī)械手的針尖上
將薄片樣品與樣品基體連接部分進(jìn)行切割集聚效應，使其分離
薄片隨后會(huì)被提取并轉(zhuǎn)移到TEM柵網(wǎng)上
4．樣品減薄-獲取高質(zhì)量TEM樣品至關(guān)重要的一步
儀器在設(shè)計(jì)上允許用戶實(shí)時(shí)監(jiān)控樣品厚度，并最終達(dá)到所需求的目標(biāo)厚度
您可以同時(shí)通過收集兩個(gè)探測(cè)器的信號(hào)判斷薄片厚度重要手段，一方面可以通過SE探測(cè)器以高重復(fù)性獲取最終厚度互動講，另一方面可以通過Inlens SE探測(cè)器控
