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德國蔡司ZEISS鎢燈絲掃描電鏡EVO18-華普通用

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ZEISS商業(yè)化電鏡的歷史和經(jīng)驗已超過60年講故事,其技術(shù)*、性能穩定,在失效分析以及各種分析研究中具有廣泛的應(yīng)用全面革新。 ZEISS不斷追求、推出新的技術(shù)和新的產(chǎn)品

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1.  悠久的電子顯微鏡研究及生產(chǎn)歷史
ZEISS公司具有悠久的電鏡研究情況正常、生產(chǎn)歷史行業分類,在世界上一直處于地位。
當(dāng)今的ZEISS公司納米技術(shù)系統(tǒng)分部(The Nano Technology Systems Division of Carl Zeiss SMT)由德國本部電鏡生產(chǎn)基地和英國劍橋廠及其他配件廠組成提高鍛煉。積掃描電鏡領(lǐng)域及透射電鏡領(lǐng)域多年的研發(fā)經(jīng)驗發展邏輯,ZEISS電子束技術(shù)在世界上創(chuàng)造了數(shù)個:
臺靜電式 TEM (1949)
臺商用 SEM (1965)
臺全數(shù)字 SEM (1985)
臺帶有成像濾波器的 TEM (1992)
臺可變壓力 FE-SEM (2001)
臺具有Koehler照明的 200kV FE EFTEM (2003)
臺具有鏡筒內(nèi)校正Omega能量濾波器的EFTEM (2003)
  
ZEISS電鏡技術(shù)經(jīng)歷了Cambridge、OPTON技術先進、LEICA更多的合作機會、LEO等發(fā)展階段,現(xiàn)已具有鎢燈絲掃描電鏡認為、場發(fā)射掃描電鏡、雙束顯微鏡(FIB and SEM)新趨勢、透射電子顯微鏡等生產(chǎn)能力的廠家反應能力。其產(chǎn)品的高性能、高質(zhì)量學習、高可靠性和穩(wěn)定性已得到廣大用戶的信賴與認(rèn)可結構重塑。
2.  *的儀器結(jié)構(gòu)設(shè)計
ZEISS掃描電鏡采用通用的鏡體設(shè)計,可配備各種不同的附件應用優勢,適應(yīng)各種分析的需要高質量發展。并具有靈活的可升級性,可按照用戶研究工作發(fā)展的需要進行升級高效節能。各種類型的掃描電鏡均有高真空影響力範圍、低真空(或超低真空)型號,以滿足不同樣品檢測的需要新創新即將到來。
3.  的技術(shù)性能
高分辨率 : 目前邁出了重要的一步,鎢燈絲掃描電鏡的分辨率達到3nm,能夠滿足失效分析設施、材料研究等方面的需要需求。

大樣品室:  ZEISS掃描電鏡具有大的樣品室,樣品室內(nèi)部尺寸為Φ365mm×275mm組合運用,全對中的樣品臺更讓我明白了,可放置的樣品尺寸為Φ250mm×145mm,樣品臺承載重量為5kg積極,方便各種大樣品的分析探索。
高效無污染真空系統(tǒng): ZEISS各種型號的掃描電鏡均采用了渦輪分子泵抽真空堅持先行,其抽真空速度快、無污染競爭力、免維護是其的優(yōu)勢調整推進。還可提供無油的真空系統(tǒng)。
自動化操作: 新型的掃描電鏡全部采用當(dāng)前的計算機集成自動化控制機製性梗阻,采用Windows視窗操作系統(tǒng)機製、圖形用戶控制界面,全部操作可用鍵盤和鼠標(biāo)完成提供了遵循。樣品臺坐標(biāo)軸全部馬達驅(qū)動參與水平,軟件功能強大,操作非常簡單和方便服務效率。
五軸馬達自動控制全對中樣品臺:X:125mm Y:125mm Z:50mm T: 0~+90度 R:360度明確相關要求。
高穩(wěn)定性、可靠性: ZEISS掃描電鏡具有很高的穩(wěn)定性統籌發展,鏡筒深化涉外、電路板等均采用了水冷,保證了其工作的穩(wěn)定與可靠生產製造。做工的開展試點,工藝的考究,也為世界共同。
4.  全面的成像解決方案
ZEISS的鎢燈絲掃描電鏡可以提供高真空推進一步、低真空和超低真空工作模式,對任何材料都沒有局限性簡單化,滿足金屬力度、陶瓷、地礦系統性、化工勇探新路、半導(dǎo)體、生命科學(xué)等所有研究領(lǐng)域需要便利性。其超大樣品室預(yù)留足夠端口方法,可搭配能譜、波譜提供有力支撐、背散射電子衍射切實把製度、陰極熒光等,樣品臺可裝加熱臺自行開發、冷卻臺和拉伸臺以滿足各種研究需要進行部署。其大束流和優(yōu)異的束流穩(wěn)定度支持各種大束流和長時間的分析。
掃描電鏡的強大功能已使其成為研究所以及工廠的微觀失效分析的一個基本工具應用情況,為失效分析提供真實確切的證據(jù)保護好,提高相應(yīng)領(lǐng)域的分析水平組建。廣泛應(yīng)用于航空航天、交通特點、材料首次、冶金、地礦部署安排、半導(dǎo)體搖籃、生命科學(xué)等方面。
5.  低真空的應(yīng)用
在失效分析中推廣開來,除了金屬樣品外背景下,還有很多非金屬樣品體系,這些樣品導(dǎo)電性很差措施。要分析這些非導(dǎo)電樣品能力建設,樣品的充電是不可避免的。由于電子束打到樣品上使樣品帶電大力發展,其產(chǎn)生的電場影響了二次電子的產(chǎn)生和接收豐富內涵,使圖像上呈現(xiàn)一片片亮的或暗的區(qū)域,無法進行正常觀察產能提升。要對這些非導(dǎo)電樣品進行分析發展,就必須排除樣品充電的影響。其方法之一就是將樣品上的電荷中和掉總之。ZEISS掃描電鏡所采取的措施是:使樣品室處于低真空狀態(tài),樣品表面所產(chǎn)生的二次電子與樣品室中的氣體分子相碰撞支撐作用,使氣體電離研學體驗,這些氣體離子附著于樣品表面,將樣品上所帶的電荷中和掉最為突出。使用專用的探測器落實落細,接收二次電子與氣體分子相碰撞時產(chǎn)生的光子,這些光子也就代表了二次電子信號高效化,使成像不受樣品導(dǎo)電性的影響製高點項目,在分析這些樣品時能夠得到理想的成像。
對于一些含水範圍和領域、含油的樣品有所增加,可以采用更低的真空度,使水分在該壓力更高要求、溫度下不至于揮發(fā)越來越重要的位置,這樣便可觀察到真實的生物樣品形貌。
6. 具有多種觀察模式共同學習,
分辨率模式不要畏懼、景深模式服務為一體、分析模式、視場模式逐漸顯現、魚眼模式全會精神。

深圳華普通用科技有限公司

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聯(lián)系人:鄭

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