白光干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的儀器

白光干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的儀器大型。其基本原理就是通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。

工作原理：

干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器明確相關要求。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動重要意義，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量深化涉外，從而測得與此有關的其他物理量追求卓越。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距參與能力，光程差就改變一個波長(～10-7米)合理需求，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所的研究。

白光干涉儀的主要功能： 觀察高效、分析、應用

特點：

白光干涉儀

1 提高、非接觸式測量：避免物件受損機構。

2 、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm ---200μm交流。

3 基礎、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

4 還不大、納米級分辨率：垂直分辨率可以達0.1nm高產。

5信息化技術、高速數字信號處理器：實現測量僅需幾秒鐘。

6 良好、掃描儀：閉環(huán)控制系統(tǒng)逐步顯現。

7、工作臺：氣動裝置引領、抗震自動化裝置、抗壓。

8 應用前景、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面有很大提升空間，強大而快速的運算。

應用領域：

白光干涉儀

1首次、半導體晶片2可能性更大、液晶產品（CS,LGP,BIU）

3、微機電系統(tǒng)

4搖籃、光纖產品

5技術、數據存儲盤（HDD,DVD,CD）

6、材料研究

7深入、精密加工表面

8技術研究、生物醫(yī)學工程