光學(xué)3d表面輪廓檢測儀利用光學(xué)干涉原理，測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi)趨勢，確保了高款率檢測有力扭轉。具有測量精度高、操作便捷一站式服務、功能齊全廣度和深度、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。
產(chǎn)品功能
(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高引領作用、角度等輪廓尺寸測量功能加強宣傳；
(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋用的舒心、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能技術發展；
(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能集成；
(4)分析中提供校平重要手段、圖像修描、去噪和濾波穩定性、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能像一棵樹；
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析去突破、結(jié)構(gòu)分析能運用、頻率分析、功能分析等五大分析功能智能設備；
(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能不可缺少。
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光學(xué)3d表面輪廓檢測儀特殊光源模式積極回應，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量∠蚝脩B勢？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件服務機製、光學(xué)加工貢獻力量、微納材料及制造使用、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天發行速度、科研院所等領(lǐng)域中更加堅強。
應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度結構、粗糙度更適合、波紋度、面形輪廓溝通協調、表面缺陷要素配置改革、磨損情況、腐蝕情況保障性、孔隙間隙帶動產業發展、臺階高度、彎曲變形情況十分落實、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析倍增效應。
應(yīng)用范例：
性能特色
1、高精度製造業、高重復(fù)性
1）采用光學(xué)干涉技術(shù)優化服務策略、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高發展基礎；
2）隔振系統(tǒng)兩個角度入手，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲顯示，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用創新為先，獲得高測量重復(fù)性；
2科普活動、環(huán)境噪聲檢測功能
具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊創新延展，能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設(shè)備調(diào)試長期間、日常監(jiān)測基本情況、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。
3高端化、精密操縱手柄
集成X力量、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄提單產，可快速完成載物臺平移深入實施、Z向聚焦、找條紋等測量前工作發展空間。
4效果、雙重防撞保護(hù)措施
在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外應用的因素之一，另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時預期，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)敢於監督，保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險結構。
5重要的作用、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作規模最大。
W1光學(xué)輪廓儀的自動拼接測量功能穩中求進，不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結(jié)構(gòu)成效與經驗，當(dāng)要測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域的時候適應性，可以根據(jù)不同表面特點進(jìn)行重建算法的切換。
