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- 公司名稱 沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/2/13 20:49:38
- 訪問次數(shù) 430
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:PCE-3等離子清洗機(jī)的等離子腔體為Ø75mm×165mm的耐熱玻璃腔體落實落細,輸出功率6.8W相結合、10.5W、18W三檔可調(diào)製高點項目。本機(jī)主要是通過空氣為產業發展、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)有所增加,對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備服務好,在射頻電源的作用下,去除速率可達(dá)10nm/min反應能力。在單晶材料外延薄膜生長以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理共謀發展,將對(duì)生長具有顯著的作用。PCE-3等離子清洗機(jī)配有一個(gè)真空泵結構重塑,可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空聽得懂,同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體,適用于對(duì)易氧化的物品的清洗高質量發展。
PCE-3等離子清洗機(jī)操作視頻
產(chǎn)品名稱 | PCE-3等離子清洗機(jī) |
產(chǎn)品型號(hào) | PCE-3 |
主要特點(diǎn) | 1全方位、使用可調(diào)射頻電源, 可以設(shè)置低更默契了、中先進技術、高功率培訓。 2、桌上型設(shè)備宣講手段,結(jié)構(gòu)緊湊重要工具、操作安全、環(huán)境友好配套設備、低成本更優質。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入電壓:110V/220V推進高水平、50Hz/60Hz (請(qǐng)?zhí)崆斑x定)脫穎而出,小于100W 2、射頻輸出頻率:13.56MHz 3生產創效、等離子直流電源:低功率設(shè)定—680V結構,10mA,6.8W優化上下;中功率設(shè)定—700V哪些領域,15mA,10.5W不斷創新; 高功率設(shè)定—720V建立和完善,25mA,18W 4參與水平、等離子腔室:Ø75mm×165mm大型,耐熱玻璃,前蓋可拆卸 5明確相關要求、通入氣體:可通入多種氣體重要意義,如N2、Ar深化涉外、空氣體系、混合氣體等,主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定 6開展試點、真空泵和閥的要求:>160L/min攜手共進,極限壓力200mtorr(0.27mbar),可選擇數(shù)字真空表推進一步,針閥控制氣體流 量高質量,采用三通閥門快速控制進(jìn)氣、密封等離子腔室選擇適用、排氣 |
清洗及蝕刻 | ![]() |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:200mm×250mm×210mm管理;重量:8kg(不含泵) |
注意事項(xiàng) | 不能使用可燃性氣體 |
可選配件 | 本司研發(fā)的電阻真空計(jì) 以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測(cè)量儀器,特別適應(yīng)于從常壓到0.1 Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測(cè)量。 |
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