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參考價 | 面議 |
- 公司名稱 沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/2/13 20:46:30
- 訪問次數(shù) 370
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產(chǎn)品簡介:PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的等離子清洗機(jī)問題,等離子腔體為 Ø8.5"×12"的石英腔體,采用的射頻電源功率0- 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)全會精神,采用的射頻為13.56MHz系統穩定性。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)實力增強,對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備體系流動性。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理,將對生長具有顯著的作用帶來全新智能。PCE-8等離子清洗機(jī)配有一個直連式雙旋真空泵實現了超越,可對腔體進(jìn)行抽真空,同時通入氬氣等保護(hù)氣體去完善,適用于對易氧化的物品的清洗橋梁作用。
產(chǎn)品型號 | PCE-8等離子清洗機(jī) |
主要特點 | 1、采用6"彩色觸摸屏求索,可控制射頻功率讓人糾結、清洗時間、氣體流量穩定發展、真空泵的開啟等基石之一。 2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計增持能力,可以精確地控制進(jìn)氣流量的發生。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:AC220V 2影響、射頻功率:100W新的動力,可在0-100W間調(diào)節(jié) 3、真空泵功率:<500W 4指導、總功率:<600W 5廣泛認同、射頻:13.56MHz 6、等離子腔體:高純石英腔體流動性,外徑Ø8.5"鍛造,內(nèi)徑Ø8.2",長12"持續創新,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行真空密封改善,法 蘭設(shè)有一個Ø60mm的觀察窗口 7、極限真空度:50mtorr 8協調機製、通入氣體:可通入多種氣體信息化,如N2、Ar實踐者、Air取得明顯成效、H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定) |
清洗及蝕刻 | ![]() |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:620mm×450mm×600mm |
可選配件 | 1數據、300W創新的技術、600W射頻電源(進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗) 2發揮、2"-6"石英舟(盛放基片) 3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng) 4快速增長、2-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng) 5開放以來、直連式雙旋真空泵(240L/min) 6、KF25波紋管 7高質量、KF25手動擋板閥 |
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