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PCE-6小型等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品簡介:PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體關註度,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W哪些領域、10.2W更讓我明白了、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣積極、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物探索,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備產業。PCE-6小型等離子清洗機(jī)體積小滿意度,占用的空間少,可有效節(jié)約實驗室空間可持續。PCE-6小型等離子清洗機(jī)配有一個雙旋真空泵主要抓手,可對腔體進(jìn)行抽真空,同時通入氬氣等氣體構建,適用于對易氧化的物品的清洗創新科技。

 

產(chǎn)品名稱

PCE-6小型等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品型號

PCE-6

主要特點(diǎn)

1、通過控制面板的按鍵及開關(guān)共創輝煌,可控制調(diào)節(jié)射頻功率具有重要意義、真空泵的開閉、清洗時間大部分。

2強大的功能、時間、功率解決方案、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上優勢。

   

3、設(shè)有一個三通閥增產,可精確控制進(jìn)氣流量提供堅實支撐,以及大氣流清洗腔體還不大,進(jìn)氣接口為6mm卡套接口。

4信息化技術、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實驗力度。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:AC220V  50/60Hz

2系統性、輸出功率:7.2W勇探新路、10.2W、29.6W

3傳遞、真空泵功率:<500W

4試驗、總功率:<600W

5、射頻頻率:3.0MHz開展攻關合作,功率3檔可手動調(diào)節(jié)

6製度保障、等離子腔體:高純石英腔體Ø160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封的有效手段,法蘭上設(shè)有Ø45mm察窗

7統籌推進、真空泵:240L/min,直連式雙旋真空泵

8關鍵技術、極限真空度:50mtorr

9了解情況、通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2技術研究、Ar重要的、H2、O2姿勢、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:400mm×300mm×300mm相互融合,重量:10.2kg

可選配件

1、2"-6"石英舟(盛放基片)

2綠色化、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)


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