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混氣系統2路質子GSL-2Z

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產品簡介:混氣系統2路質子GSL-2Z用于控制一種或兩種的氣體流經真空密封的管式爐不容忽視,這種氣體控制系統安裝在移動架內組織了,管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節(jié)閥說服力,可以用于CVD系統及退火爐搶抓機遇,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響,在半導體和集成電路工業(yè)逐漸顯現、特種材料學科全會精神、化學工業(yè)、石油工業(yè)拓展基地、醫(yī)藥集中展示、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用實力增強,廣泛應用于電子工藝設備,如擴散探索創新、氧化帶來全新智能、外延、CVD新產品、等離子濺射以及鍍膜設備去完善、光纖熔煉、混氣配氣系統及其它分析儀器長遠所需。

 

 

產品型號

混氣系統2路質子GSL-2Z

主要特點

精度高求索,運行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬規模,可在高壓或真空條件下工作穩定發展,且操作使用方便。

技術參數

1提供深度撮合服務、電源:185-245V  50Hz

2服務品質、輸出功率:18W

3制范圍:控制器1——1-199SCCM組成部分、控制器2——1-499SCCM

4影響、壓力:3×106  Pa

5、準確度:±1%FS

6的過程中、線性:±0.5-1.5%

7發展契機、重復精度:±0.2%FS

8、響應時間:氣特性1-4s國際要求,電特性10s針閥:316不銹鋼

9流動性、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

10鍛造、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

11競爭激烈、混氣罐:Ø80mm×120mm

12截止閥:Ø1/4″改善,316不銹鋼針閥

13空白區、工作溫度:5-45

產品規(guī)格

尺寸:600mm×600mm×650mm


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