復合納米壓印軟模板

納米壓印機的基本思想是通過模版取得顯著成效，將圖形轉移到相應的襯底上交流等，轉移的媒介通常是一層很薄的聚合物膜，通過熱壓或者輻照等方法使其結構硬化從而保留下轉移的圖形規劃。整個過程包括壓印和圖形轉移兩個過程提高。根據(jù)壓印方法的不同，NIL主要可分為熱塑（Hot embossing）進入當下、紫外固化UV和微接觸（Micro contact printing紮實， uCP）三種光刻技術。

主要功能

• HNSL-復合PDMS模板軟壓印工藝新體系，適合于硅/石英等硬材質的壓印投入力度。
• Nickel Template-金屬鎳模板熱壓印工藝，適合于PMMA/PET等聚合物/柔性襯底等熱塑樣品的直接熱壓長效機製。
• HNSL&DTUCN-復合PDMS軟壓印工藝&雙轉移紫外納米壓印工藝法治力量，適合于曲面等復雜表面

技術能力

該設備的發(fā)明人2001年至 2003 年，在納米壓印技術發(fā)明人分享、 美國普林斯頓大學 StephenY.Chou 教授的納米結構實驗室作為研究助理進行了為期 3 年的研究工作共享，發(fā)展了紫外光固化納米壓印工藝與材料，對納米壓印技術的發(fā)展做出了重要的貢獻方式之一。2004 年加入材料科學與工程系后繼續(xù)圍繞納米微加工技術與納米壓印技術開展研究工作生動，研發(fā)了數(shù)種新型納米壓印材料，發(fā)展了新型高分子壓印模板創新能力，提出了曲面納米壓印技術新品技；利用 863 課題“紫外光固化和熱壓兩用納米壓印設備的研制與應用”項目的支持，研制成功具有紫外光固化和熱壓功能兩用納米壓印設備求得平衡，現(xiàn)已成為產品紮實做，并被南京大學、北京航空航天大學至關重要、國防科技大學提供深度撮合服務、黑龍江大學、中科院深圳研究院等多家高校和科研機構所采用的發生，形成了具有自主知識產權的納米壓印核心技術組成部分，技術水準與當前國際該領域*水平同步。

應用

納米壓印技術是目前納米溝道加工的主要技術新的動力。傳統(tǒng)的光刻技術主要是利用電子和光子改變光刻膠的物理化學性質的過程中，進而得到相應的納米圖形。而納米壓印技術則可以在不使用電子和光子的前提下像一棵樹，直接利用物理學機理機械地在光刻膠上構造納米尺寸圖形過程中。正是由于這種機械作用去突破，使得納米壓印技術不再受到光子衍射和電子散射的限制，可大面積地制備納米級圖形重要部署。同時具體而言，由于這項技術所用的設備簡單，制備時間短智慧與合力，壓印模板可以重復使用，所以應用該技術制備納米圖形所需的成本也較低重要的角色。目前典型的三類納米壓印技術分別是：熱壓印開放要求，紫外固化壓印，微接觸印刷平臺建設。分別適用在其各自的領域：

熱壓印技術：光電服務機製、光學器件；微型機電系統(tǒng)領域使用。

紫外固化壓印技術：納米光電器件大幅拓展、納米電子器件的生產；NEMS和MEMS加工更加堅強；半導體集成電路的制造與時俱進。

微接觸印刷技術：生物芯片和微流體器件的生產；生物傳感器（抗體光柵）初步建立；微機械元件的生產綜合運用。

加工工藝來分，主要包含五大部分：壓印的方法，刻蝕實事求是，鍍膜，檢測&表征與其他落到實處。所涉及的儀器設備主要包括：納米壓印機服務水平，感應耦合等離子體刻蝕機，電子束蒸發(fā)鍍膜機技術創新，原子力顯微鏡&掃描電鏡處理方法，以及超聲波清洗機&真空干燥箱等。

Sandwiched Flexible Polymer-SFP® & Hybrid Mold®軟模板壓印技術

盡可能消除灰塵顆粒對于納米壓印結果產生的影響

在不規(guī)則表面或者曲面進行納米壓釉龆?。ㄉ蠄D為單模光纖進行的納米壓踊顒由?。?/p>

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Nickel Template金屬鎳模板熱壓技術

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直接對于聚合物襯底（PMMA、PET等材料上）直接熱壓明顯，免去了刻蝕環(huán)節(jié)安全鏈。

鎳模板壽命長，適合高溫高壓連續(xù)壓印創新為先。