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MPI手動晶圓級太赫茲探針臺系統(tǒng)

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TS150-AIT & TS200-THZ

TS150-AIT和TS200-THZ探針系統(tǒng)專為新興的THz應(yīng)用而設(shè)計生產體系,例如高速5G通信服務,衛(wèi)星,非侵入性光譜能力和水平,醫(yī)療保健設(shè)備以及短距離汽車雷達等覆蓋,其方法是在同一探針臺上增加有源阻抗調(diào)諧器集成。這兩個系統(tǒng)是業(yè)界明確設(shè)計的150 mm和200 mm探針系統(tǒng)研究,可結(jié)合毫米波高效,太赫茲(THz)和自動阻抗調(diào)諧器應(yīng)用的要求,以的測量方向性提供準(zhǔn)確的測試提高。

  • 任意可達1.5THz的帶寬機構、差分或?qū)拵U頻器和/或自動阻抗調(diào)諧器的無縫集成;
  • 擴展器/調(diào)諧器集成的新穎設(shè)計交流,可實現(xiàn)的測量動態(tài)攜手共進;
  • 的機械穩(wěn)定性和可重復(fù)性,結(jié)合方便和安全的操作推進一步。

TS150-AIT & TS200-THZ細節(jié)優(yōu)勢

MPI TS200-THZ手動探針系統(tǒng)具有的功能經過。這些高度可重復(fù)性(1µm)的壓板提升設(shè)計,具有用于安全力度,接觸明確了方向,分離(300µm)和加載(3mm)的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞勇探新路,同時提供直觀的控制單產提升,準(zhǔn)確的觸點定位和安全設(shè)置。 附加的Probe Hover Control™具有懸停高度(50試驗、100或150 µm)勞動精神,可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。

特點與優(yōu)勢

氣浮式移動系統(tǒng)

MPI的氣墊載物臺設(shè)計製度保障,具有簡單的單手定標(biāo)器控制預下達,為快速的XY導(dǎo)航和晶圓裝載提供了的操作便利性的有效手段,同時搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯,不影響精確定位能力提升。

卡盤Z調(diào)整

TS150-TH有10mm的精細卡盤Z調(diào)整大大提高,旨在靈活地集成不同的擴頻器,例如Rohde&Schwarz研究成果,VDI或OML取得了一定進展。對于在同一探頭系統(tǒng)上使用多個彎曲解決方案的設(shè)置非常有利,可以輕松快速地進行設(shè)置大面積。

微型定位器

專用的極剛性探針臺板設(shè)計可容納兩個東西方向的粗體——東西向配置的下行MP80大面積微選址器積極參與。通過將兩個南北“電橋”作為標(biāo)準(zhǔn)配置,可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置培養。

MP80-DX

市場上另一個MPI開拓性解決方案——的MP80-DX交流研討,具有低至1µm的簡單、精確的精確度推動,是精確且經(jīng)濟高效的多線TRL的理想選擇相對較高,即多行TRL——毫米波和次太赫茲范圍內(nèi)的RF校準(zhǔn)方法資源配置。有關(guān)更多詳細信息信息,請訪問 MPI QAlibria® 軟件。

多種卡盤選項

TS200-THZ提供多種卡盤選件大力發展,以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求豐富內涵,例如MPI:帶BNC連接器的標(biāo)準(zhǔn)RF卡盤; 專用mmW卡盤產能提升,內(nèi)置具有高導(dǎo)熱率(> 180 W / Km)的特殊陶瓷適應性;甚至 ERS AirCool射頻卡盤(從20°C到200°C或更高),帶有集成的鍍金頂面和小的真空孔通過活化。 所有卡盤都有兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤落地生根,用于精確的RF校準(zhǔn),尤其是在40 GHz以上的范圍內(nèi)健康發展。

多種光學(xué)選項

提供專用的MPI光學(xué)元件 有效保障,可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光學(xué)變焦高達12倍長效機製,工作距離超過45毫米講實踐。由于集成擴頻器固有的空間限制,要求與DUT的距離最短奮戰不懈,因此這種顯微鏡的體積小市場開拓,非常適合RF和mmW應(yīng)用。

擴頻器集成

TS200-THZ集成了全新的擴頻器集成設(shè)計取得顯著成效。為了地減少到DUT的距離并提供的測量方向性新模式,MPI引入了一種新穎的概念實現,將擴展器懸停在整個200mm晶圓上。新型TS200-THZ探針臺的附加關(guān)鍵功能是輕松講理論,便捷和快速地重新配置的可能性。


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