世界上等精度及強(qiáng)大功能Park原子力顯微鏡產(chǎn)品特性
Park XE15具備多個特殊功能配套設備，是共享實(shí)驗(yàn)室處理各類樣品、研究員進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)相對開放、失效分析師研究晶片等的推進高水平。合理的價格搭配強(qiáng)健的性能設(shè)置，使其成為業(yè)內(nèi)性價比*高的大型樣品原子力顯微鏡拓展應用。
MultiSample™（多重采樣TM）掃描器帶來*便捷樣品測量
多樣品一次性自動成像
特殊設(shè)計(jì)的多樣品夾頭生產創效，*多可承載16個獨(dú)立樣品
全自動XY樣品載臺，行程范圍達(dá)200 mm x 200 mm管理。
無軸間耦合提高掃描精度
兩種獨(dú)立閉環(huán)XY和Z平板式掃描
平板式和線性XY掃描可達(dá)100μm x 100μm優化上下，且殘余壓彎小
整個掃描范圍內(nèi)的異面移動小于2nm
強(qiáng)力掃描器達(dá)25μm Z掃描范圍
**的高度測量
Non-Contact™（真正非接觸TM）模式延長針尖使用壽命、改善樣品保存及精度
其Z掃描頻寬是壓電管基礎(chǔ)系統(tǒng)的10倍
非接觸式可降低針尖磨損模樣、延長使用壽命
成像分辨率高于同類原子力顯微鏡
降低樣品干擾生產體系，提高掃描精度
提供*佳用戶體驗(yàn)
開放式側(cè)面接入，提高樣品及針尖更換效率
預(yù)對準(zhǔn)的針尖安裝和有一無二的軸上俯視法可簡單直觀地實(shí)現(xiàn)激光對準(zhǔn)
燕尾鎖封片方便鏡頭拆卸
界面帶自動設(shè)置功能很重要，方便用戶使用
多種模式與選項(xiàng)
綜合性測量模式及特性設(shè)置參與水平，是我司*佳通用型原子力顯微鏡
多種可選配件及更新，擴(kuò)展性能*
為缺陷分析提供*電氣測量
產(chǎn)品特點(diǎn)
100um x 100 um掃描范圍的XY柔‘性導(dǎo)向掃描器
XY掃描器含系統(tǒng)二維彎曲及強(qiáng)力壓電堆疊服務效率，可使極小平面外移動形成較大的正交運(yùn)動明確相關要求，并能快速響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)**的樣品納米級掃描統籌發展。
柔性導(dǎo)向強(qiáng)力Z掃描器
在強(qiáng)力壓電堆疊的驅(qū)動及彎曲結(jié)構(gòu)的引導(dǎo)下深化涉外，其硬度允許掃描器高速豎直運(yùn)動，較傳統(tǒng)原子力顯微鏡掃描器更加高速生產製造。*大Z型掃描范圍搭配遠(yuǎn)程Z掃描器（選配）可延長12μm至25μm開展試點。
滑動連接的超亮二極管頭
通過將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動，可輕松將其插入或取出。低相干的超發(fā)光二極管頭可實(shí)現(xiàn)高反射表面的**成像和力-矩光譜的**測量充分發揮。超亮二極管頭的波長幫助減輕干擾問題高質量，因此用戶在可見光譜實(shí)驗(yàn)中也可使用本產(chǎn)品。
多樣品夾頭
特殊設(shè)計(jì)的多樣品夾頭選擇適用，做多可承載16個獨(dú)立樣品管理，由多重采樣掃描器自動按順序掃描。特殊的夾頭設(shè)計(jì)為接觸樣品針尖預(yù)留了邊通道業務指導。
選配編碼器的XY自動樣品載臺
自動集成XY載臺可輕松并**控制樣品的測量位置改進措施。XY樣品載臺的行程范圍可配置為150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自動載臺使用編碼器長足發展，可提高樣品定位的**度和重復(fù)性今年。編碼XY載臺工作時分辨率為1 μm，重復(fù)率為2 μm結構不合理。編碼Z載臺的分辨率為0.1 μm動手能力，重復(fù)率為1 μm。
高分辨率數(shù)碼變焦感光元件攝像頭
高分辨率數(shù)碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學(xué)意見征詢，具備變焦功能引領，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。
垂直對齊的自動Z載臺及聚焦載臺
Z載臺和聚焦載臺可將懸臂嚙合到樣品表面上示範，同時確保用戶視野清晰穩(wěn)定應用前景。聚焦載臺是由軟件控制自動運(yùn)行的，因此滿足透明樣品及液態(tài)元件應(yīng)用所需精度運行好。
彎曲基底解耦XY和Z掃描器
Z掃描器與XY掃描器解耦首次。XY掃描器在水平面上移動樣品，同時Z掃描器豎直移動探針部署安排。
此配置以*小異面移動搖籃，實(shí)現(xiàn)了平板式XY掃描。此XY掃描同時還具有高正交性與線性推廣開來。
業(yè)內(nèi)*低本底噪聲
為探測*小樣品的特性推動，幫助*快運(yùn)動平面成像，Park Systems設(shè)計(jì)了業(yè)內(nèi)0.5A以下的*低本底噪聲標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備資源配置。使用“零掃描”探測本地噪聲數(shù)據(jù)信息。
真正非接觸模式延長針尖使用壽命
XE系列原子力顯微鏡已成功搭配磚利強(qiáng)力Z掃描系統(tǒng)的真正非接觸模式。真正非接觸模式下大力發展，使用的是相吸而非相排斥的內(nèi)部原子力傳承。
真正非接觸模式因此成功地保持了針尖樣品納米級間距，改善了原子力顯微鏡圖像建言直達，保持針尖的銳利多種，因此有效延長了針尖使用壽命將進一步。
預(yù)對準(zhǔn)懸臂支撐
預(yù)先安裝在探針支撐上，因此不需要嚴(yán)格對齊激光束發展成就。
高分辨率的直接同軸光學(xué)元件
用戶可直接俯視觀看樣品成就，操控樣品表面，從而很容易就能找到目標(biāo)區(qū)域開展面對面。高分辨率數(shù)碼攝像頭具備變焦功能系統，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。
帶DSP控制芯片的XE控制電子元件
原子力顯微鏡發(fā)出的納米級信號將由高性能Park XE電子元件控制并處理自動化。Park XE電子元件為低噪聲設(shè)計(jì)，配備高速處理單元高品質，可成功實(shí)現(xiàn)真正非接觸™模式不折不扣，是納米級成像及電壓電流精準(zhǔn)測量的理想選擇。
- 600 MHz資源優勢、4800 MIPS速度的高性能處理單元
- 低噪聲設(shè)計(jì)高效利用，適合電壓電流精準(zhǔn)測量
-通用系統(tǒng)，各SPM技術(shù)均可得到應(yīng)用
- 外部信號接入模塊估算，存取原子力顯微鏡輸入/輸出信號
- *多16個數(shù)據(jù)成像
- *大數(shù)據(jù)尺寸：4096 x 4096像素
- 16位ADC/DAC講理論，速度達(dá)500 kHz
- TCP/IP連接，隔離計(jì)算機(jī)接出電噪
