KLA公司全系列的力學測試產品均采用電磁驅動原理的加載力激發(fā)器快速增長， iMicro微納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和優(yōu)線性特性的電磁力驅動原理的深刻理解占，以及具有良好靈敏度的三片式電容傳感器的設計高質量，保證全系列納米力學產品在整個量程范圍內均能得到高分辨的控制。1000mN載荷范圍激發創作，6nN加載精度前景，0.04nm位移精度。
? 快速準確的動態(tài)納米壓痕測試
? 電磁加載方式
? 快速準確的位移測量

•IMicro包括InView軟件多種，它提供非常強大和直觀的實驗腳本平臺將進一步，可以用于設計新穎的實驗。有經驗的用戶可以使用IMicro進行幾乎所有小規(guī)模的機械測試發展成就。

•樣品臺移動Z軸為25 mm成就，X為100 mm，Y軸為150 mm，可測試各種樣品高度和大樣品區(qū)研究進展。

•載荷剛度>3,500,000N/m

•特的TiP-calibration系統(tǒng)集成到軟件中設計標準，可以快速、準確互動互補、自動的進行校準發揮重要帶動作用。可選擇NanoBlitz地形和斷層掃描軟件來執(zhí)行

•更高的負載和更廣泛的應用使IMicro成為世界上研究實驗室的選擇

•允許進行廣泛的測試意料之外，包括但不限于特定頻率的實驗文化價值、存儲和損失模量、模量和硬度（Oliver和Pharr）和恒定應變率置之不顧。

•多功能執(zhí)行機構可用于測試任何材料不斷完善，從超軟凝膠到硬涂層。

•可用的劃痕選項方便，大負載為50mN基礎上，大劃痕偏差為2.5mm，大劃痕速度為500um/s應用領域。