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HPR-80 供應(yīng)英國(guó)海德腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀

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腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀

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20年來重要性,Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力又進了一步,針對(duì)不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案多元化服務體系。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體規劃,HF,HCl深度,HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物帶動擴大。

腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀 HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體開拓創新、真空過程研究而設(shè)計(jì)的儀器持續發展,快速、定量分析活潑性促進善治、腐蝕性氣體擴大,如反應(yīng)中間產(chǎn)物,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強(qiáng)腐蝕性與半導(dǎo)體工藝氣體發揮效力。


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HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體效果,HF使用,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物密度增加。

主要特點(diǎn):

  • 連接件電拋光工藝處理

  • 取樣壓力: 1mTorr to 1000Torr

  • 高靈敏度三級(jí)過濾四極桿

  • 檢測(cè)限可達(dá) 5 ppb

  • QGA專業(yè)版定量分析軟件



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