108auto SE離子濺射儀Cressington 108auto SE離子濺射儀基于108auto 離子濺射儀安全鏈。它具有108auto的所有優(yōu)點(diǎn)顯示，但具有更大的?150x165mm玻璃腔和目標(biāo)前方的額外擋板。此外真正做到，108auto / SE可配備可選的旋轉(zhuǎn)傾斜（RT）樣品臺(tái)或可選的旋轉(zhuǎn) 行星 傾斜（RPT）樣品臺(tái)科普活動。 分類： 電鏡制樣設(shè)備, 鍍膜儀 標(biāo)簽： 離子濺射儀, 鍍膜儀 Brand:Ted Pella
描述
Cressington 108auto SE離子濺射儀基于108auto 離子濺射儀。它具有108auto的所有優(yōu)點(diǎn)強化意識，但具有更大的?150x165mm玻璃腔和目標(biāo)前方的額外擋板長期間。此外，108auto / SE可配備可選的旋轉(zhuǎn)傾斜（RT）樣品臺(tái)或可選的旋轉(zhuǎn) – 行星 – 傾斜（RPT）樣品臺(tái)的積極性。
108 Auto SE是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)綠色化發展，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
一使命責任、自動(dòng)的換氣與泄氣功能效果，可以得到一致的膜厚，和的導(dǎo)電噴鍍效果合規意識。
二密度增加、通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程，避免樣品表面受損創新內容。
三機遇與挑戰、操作容易快捷，可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作善於監督，控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制集成技術。
四、在自動(dòng)模式下更合理，可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程適應能力。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果各方面，
五防控、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。
六適應性、可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動(dòng)停止噴鍍過程堅實基礎。
七、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響重要作用，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果等地。
八最為顯著、可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,物聯與互聯，Pt,穩定，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便供給。
技術(shù)參數(shù)
濺射系統(tǒng) |
樣品室大小 | 直徑150mm x 165mm 高 (4.75 x 4.75″) 高度可變165mm-250mm |
靶材 | Au 靶為標(biāo)配優勢與挑戰， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;大小：直徑57mm x 0.1mm厚 |
樣品臺(tái) | 可以裝載12個(gè)SEM樣品座解決方案，高度可調(diào)范圍為60mm |
濺射控制 | 微處理器控制趨勢，安全互鎖，可調(diào)作用，電流40mA相互配合，程序化數(shù)字控制 |
濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速著力增加，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
模擬計(jì)量 | 真空： Atm – 0.001mbar智能化，電流：0-50mA |
厚度監(jiān)控
(選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動(dòng)終止濺射過程，或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動(dòng)終止濺射過程 |
控制方法 | 自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能處理，自動(dòng)處理排序建設，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時(shí)器（0－300s）助力各行，自動(dòng)放氣 |
真空系統(tǒng) |
真空泵 | 2級(jí)直連式高速真空泵 |
抽氣速率 | 3.0 m3/小時(shí) 前來體驗，真空度到 0.1mb所需時(shí)間30秒 |
桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺(tái)上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
可選附件：
一確定性、膜厚測(cè)控儀
膜厚控制儀MTM-20 |
性能 | 基于微處理器更加廣闊，4位數(shù)字顯示，復(fù)位按鈕講故事， 6MHz晶體（具有壽命檢查功能）非常完善，5次/s的更新速率 |
膜厚范圍 | 0.0 – 999.9nm |
分辨率 | 優(yōu)于 0.1nm |
密度范圍 | 0.50 – 30.00gm/cm3 |
修正系數(shù)范圍 | 0.25 – 8.00 |
鍍膜終止范圍 | 膜厚0 – 999.9nm |
二、R-P-T（Rotary-Planetary-Tilting）樣品臺(tái)
樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)全面革新，可傾斜作用，適合多角度樣品。
108auto離子濺射儀配置旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)的使用視頻
