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208HR 高分辨率鍍膜儀（離子濺射儀）208HR高分辨離子濺射儀為場發(fā)射掃描電鏡應用中遇到的各種樣品噴鍍難題提供真正的解決方案我有所應。場發(fā)射掃描電鏡觀察時提單產，樣品需鍍上極其薄、無細晶且均勻的膜層以消除電荷積累至關重要，并提高低密度材料的對比度發展空間。為了將細晶的尺寸減小到最小程度，208HR提供了一系列的鍍膜材料有所應，并對膜厚和濺射條件提供無可媲美的控制足了準備。 分類： 電鏡制樣設備, 鍍膜儀 標簽： 離子濺射儀, 鍍膜儀, 高真空離子濺射儀 Brand:Ted Pella
描述
208HR高分辨離子濺射儀為場發(fā)射掃描電鏡應用中遇到的各種樣品噴鍍難題提供真正的解決方案。
場發(fā)射掃描電鏡觀察時敢於監督，樣品需鍍上極其薄幅度、無細晶且均勻的膜層以消除電荷積累，并提高低密度材料的對比度重要的作用。為了將細晶的尺寸減小到最小程度貢獻，208HR提供了一系列的鍍膜材料，并對膜厚和濺射條件提供無可媲美的控制穩中求進。
208HR分子渦輪泵高真空系統(tǒng)提供寬范圍的操作壓力統籌，可以對膜層的均勻性和一致性進行精確控制，并減小充電效應協同控製。高/低樣品室的結(jié)構(gòu)設計使靶材和樣品之間的距離調(diào)節(jié)變得極為方便振奮起來。
MTM-20高分辨膜厚控制儀分辨率小于0.1nm，其作用是對所鍍薄膜的厚度進行精確控制利用好，它尤其適合場發(fā)射電鏡對膜厚（0.5－3nm）的要求等地。
場發(fā)射掃描電鏡鍍膜的靶材是：
208HR系統(tǒng)為得到高分辨鍍膜效果提供了多種配置選擇最為顯著，可配備標準的旋片泵或提供干凈真空的無油渦旋式真空泵，標配的208HR包含Cr 和 Pt/Pd靶規定。
一環境、主要特性
· 可選擇多種鍍膜材料
· 精確的膜厚控制
· 樣品臺控制靈活：可對樣品臺進行獨立的旋轉(zhuǎn)、行星式轉(zhuǎn)動高質量、傾斜控制相對簡便，保證形貌差異大的樣品也能得到的鍍膜效果。
· 多個樣品座：提供4個樣品座流程，每個樣品座直徑32mm合作，可裝載多達6個小樣品座。
· 樣品室?guī)缀慰勺儯?/strong> 樣品室?guī)缀斡糜谡{(diào)節(jié)鍍膜的速率（1.0nm/s ～ 0.002nm/s）
· 寬范圍的操作壓力：獨立的功率和壓力調(diào)節(jié)助力各業，氬氣的壓力大小范圍為0.2 – 0.005 mbar極致用戶體驗。
· 緊湊、現(xiàn)代的桌上型設計
· 操作容易
二應用、技術參數(shù)
| 濺射系統(tǒng) | ||
| 鍍膜頭 | 低電壓平面磁控管 靶材更換快速 環(huán)繞暗區(qū)護罩 靶材調(diào)節(jié)遮擋 | |
| 靶材 | Cr, Pt/Pd (標配) Ta, Au, Au/Pd, Pt, W, Ir , Ti（選配） | |
| 鍍膜控制 | 微處理器控制 安全互鎖 電流控制與真空度無關 數(shù)字化可選電流（20建議，40，60 和 80mA） | |
| 樣品室大小 | 直徑150mm 高度165 – 250mm | |
| 樣品臺 | 非重復的旋轉(zhuǎn)相貫通、行星式轉(zhuǎn)動不斷發展，并可手動傾斜0-90° 轉(zhuǎn)動速度可調(diào) 晶體頭 4個樣品臺 | |
| 模擬計量 | 真空 Atm – .001mb 電流 0-100mA | |
| 控制方法 | 自動氣體凈化和泄氣功能 自動處理排序 帶有“暫停”功能的數(shù)字計時器 自動放氣 | |
| 膜厚控制 | MTM-20高分辨膜厚控制儀 | |
| 真空系統(tǒng) | ||
| 結(jié)構(gòu) | 分子渦輪牽引泵和旋葉泵組合自動化方案， 代替旋葉泵的無油渦旋式真空泵（選配） | |
| 抽真空速度 | 0.1mb 下300 l/min | |
| 抽真空時間 | 1 mbar 限真空 | 1 x 10-5mbar |
| 桌上型系統(tǒng) | 旋葉泵置于抗震臺上不斷進步，全金屬真空耦合系統(tǒng) | |
| 膜厚測控儀 | ||
| MTM-20 | 基于微處理器，4位數(shù)字顯示效率，復位按鈕規模， 6MHz晶體（具有壽命檢查功能），5次/s的更新速率 | |
| 膜厚范圍 | 0.0 – 999.9nm | |
| 分辨率 | 優(yōu)于 0.1nm | |
| 密度范圍 | 0.50 – 30.00gm/cm3 | |
| 修正系數(shù)范圍 | 0.25 – 8.00 | |
| 鍍膜終止范圍 | 膜厚0 – 999.9nm | |
| 系統(tǒng)要求 | ||
| 電氣 | 100-120 或 200-240VAC, 50/60Hz | |
| 功率 | 550VA（） | |
| 氬氣 | 最小純度99.995% 調(diào)節(jié)壓力 5 – 6 psi (0.4 bar) 6.0mm ID連接軟管 | |
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