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108Auto 離子濺射儀(噴金儀)

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108Auto 離子濺射儀(噴金儀)108 Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)保持穩定,特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜∶嫦??墒褂枚喾N金屬靶材:Au支撐作用, Au/Pd,,Pt,建設項目,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配)最為突出,靶材更換快速方便。 分類: 電鏡制樣設(shè)備, 鍍膜儀 標(biāo)簽: 噴金儀, 離子濺射儀, 鍍膜儀 Brand:Ted Pella

詳細(xì)信息 在線詢價

描述

 

108 Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)相結合,特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜高效化。

主要特性

一、自動的換氣與泄氣功能為產業發展,可以得到一致的膜厚範圍和領域,和的導(dǎo)電噴鍍效果。

二各項要求、通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程更高要求,避免樣品表面受損。

三新技術、操作容易快捷共同學習,可全自動或手動進(jìn)行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制深入。

四效高、在自動模式下,可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程全方位「咝Ч澞??赏ㄟ^數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,

五大局、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達(dá)到設(shè)定膜厚時停止噴鍍過程新創新即將到來。

六、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果設施。

可使用多種金屬靶材:Au需求, Au/Pd,,Pt,組合運用,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配)更讓我明白了,靶材更換快速方便。

 

技術(shù)參數(shù)

 

濺射系統(tǒng)
樣品室大小直徑120mm x 120mm 高
靶材標(biāo)配Au ,可選配 Au:Pd, Pt, Pt:Pd等;大忻摲f而出。褐睆?7mm x 0.1mm厚
樣品臺可以裝載12SEM樣品座拓展應用,高度可調(diào)范圍為65mm〗Y構?蛇x配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺管理,

旋轉(zhuǎn)速度:0~120rpm可調(diào),傾斜角度:0~90°可調(diào)能力建設。旋轉(zhuǎn)樣品臺具有單獨腔體保護(hù)模樣,可防污染。

濺射控制微處理器控制服務,安全互鎖很重要,可調(diào),電流10覆蓋、20異常狀況、30、40mA高效,程序化數(shù)字控制
濺射頭低電壓平面磁控管統籌發展,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
計量atm~1*10-3mba / 0~50mA
厚度監(jiān)控(選件)使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動終止濺射過程.
控制方法自動氣體換氣和泄氣功能體系,自動處理排序,帶有“暫烷_展試點!笨刂频臄?shù)字定時器(5-300s)攜手共進,自動放氣.整個操作亦可全手動控制。
真空系統(tǒng)
真空泵*2級直連式高速真空泵
抽氣速率100L/MIN
噪音50dB
極限真空≤1 x 10-3 Torr

 


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