產(chǎn)品介紹：P-5 X鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)

P-50X鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)具有P-5等離子體表面改性處理儀所有功能，但它具有更大的鋁質(zhì)腔體：203毫米寬x 203毫米深D X 102毫米高新的力量，為專(zhuān)門(mén)等離子處理較大工件設(shè)計(jì)先進水平。鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)專(zhuān)門(mén)用于小型生產(chǎn)企業(yè)、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室全面展示、檢測(cè)機(jī)構(gòu)和科研院校重要平臺。

鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)縱覽

該鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)專(zhuān)門(mén)用于小型生產(chǎn)企業(yè)、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室核心技術、檢測(cè)機(jī)構(gòu)和科研院

產(chǎn)品介紹：P-5 X鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)

P-50X鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)具有P-5等離子體表面改性處理儀所有功能順滑地配合，但它具有更大的鋁質(zhì)腔體：203毫米寬x  203毫米深D X 102毫米高，為專(zhuān)門(mén)等離子處理較大工件設(shè)計(jì)效高。鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)專(zhuān)門(mén)用于小型生產(chǎn)企業(yè)前沿技術、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室基礎、檢測(cè)機(jī)構(gòu)和科研院校。

鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)縱覽

該鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)專(zhuān)門(mén)用于小型生產(chǎn)企業(yè)多種方式、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室對外開放、檢測(cè)機(jī)構(gòu)和科研院校。鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)采用了防暴式203毫米寬x  203毫米深D X 102毫米高矩形鋁合金真空艙邁出了重要的一步，并設(shè)置直接供電的射頻（RF）電極有序推進。 應(yīng)用范圍包括醫(yī)療設(shè)備、太陽(yáng)能電池需求、印刷電路板堅定不移、連接器、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）更讓我明白了、納米技術(shù)迎難而上、晶圓級(jí)封裝、以及許多其他相關(guān)的半導(dǎo)體工藝探索。

鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)特點(diǎn)

正如所有鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)堅持先行，P-X5采用電容耦合（CCP）平行電極板設(shè)計(jì)，從而zui有效的產(chǎn)生等離子體滿意度。

與傳統(tǒng)玻璃/石英圓筒艙不同的是情況較常見，這些競(jìng)爭(zhēng)設(shè)備不能穿透真空艙，因此被限制只能使用感應(yīng)耦合的RF線圈纏在腔室的外部主要抓手。 這是設(shè)置一種低效率方式體製，導(dǎo)致輸入功率損失及相當(dāng)?shù)偷奈g刻/清潔去除速率。

P-5X鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)是由美國(guó)制造的部件組裝而成創新科技，我們提供的鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)客戶(hù)服務(wù)和支持服務延伸。

鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)規(guī)格

標(biāo)準(zhǔn)鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)配置
鋁合金真空艙尺寸：203毫米寬x  203毫米深D X 102毫米高
電極設(shè)置：單套 254毫米 X 127毫米 水平電極
射頻電源：125瓦@ 50 kHz 射頻電源
工藝氣體控制：精密針形閥流量控制0-25 CC /分鐘
真空監(jiān)測(cè)系統(tǒng)：皮拉尼真空計(jì)0-1托
真空系統(tǒng)：5的CFM真空泵（可與氧氣等活性氣體適配）
工藝存儲(chǔ)：單處理順序

可選配鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)配置
射頻電源：[email protected]射頻電源和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)
燈條
質(zhì)量流量控制器（MFC）