超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列 Regulus系列現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240講道理、Regulus8230發展目標奮鬥、Regulus8220、Re…
"Regulus系列"
現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合更多的合作機會，衍生而成Regulus8240延伸、Regulus8230、Regulus8220服務好、Regulus8100
"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能新趨勢，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流共謀發展。
通過優(yōu)化電子光學系統學習，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.9 nm，Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm聽得懂，觀察性能與現有機型相比提高了20％左右應用優勢。
此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力全方位，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1高效節能。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理大局，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的良好性能新創新即將到來。
*1
*Regulus8240/8230/8220
特點
沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的良好性能
與現有機型相比分辨率提高了20％左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV主動性、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
采用污染小效高、高真空樣品倉
運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2
極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V
超高分辨觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV
低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV
*2 *Regulus8240/8230/8220
規(guī)格
*3 減速模式下觀察
*4 以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率
Regulus SEM Layout
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