瑞士CSM儀器公司的超納米壓痕測試儀器專門為要求超高分辨率壓入載荷與位移的*用戶設(shè)計制造緊迫性。

                                          納米壓痕儀（Nanoindentor）

納米壓入測試儀 （0.1 - 500mN）
納米壓入測試儀主要適用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，測量結(jié)果通過載荷及壓入深度曲線計算得出更適合，無需應(yīng)用顯微鏡觀測壓痕面積高效。納米壓入測試儀可被用于有機或無機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析要素配置改革，包括PVD體系、CVD、PECVD薄膜帶動產業發展，感光薄膜責任製，彩繪釉漆，光學薄膜倍增效應，微電子鍍膜規則製定，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等多樣性〉缆?；w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料規模設備，包括金屬真諦所在、合金、半導體競爭力、玻璃充分、礦物和有機材料等。

瑞士CSM儀器公司三十年來致力于為材料集聚、物理競爭力、機械工作者提供*、精準狀況、全面的材料機械性質(zhì)測試儀器機製性梗阻、分析咨詢以及測試服務(wù)。我們的主要產(chǎn)品包括：
測量材料硬度和彈性模量的納米級全過程、微米級儀器化壓入測試儀（納米壓痕儀, 顯微壓痕儀）集成應用；
界定膜基結(jié)合強度、薄膜抗劃擦能力的納米級不負眾望、微米級高效流通、大載荷劃痕測試儀 （Scratch tester） ；
包括真空、高溫以及線性往復運動等選項的摩擦磨損測試儀功能、納米摩擦儀 （摩擦磨損試驗機 應用的因素之一；
zui簡便易用的膜厚測試儀；
用于三維成像表征材料表面形貌的原子力顯微鏡 （AFM） 和白光共聚焦顯微鏡 （Confocal Microscope） 預期。

• 技術(shù)參數(shù)

• zui小有效加載載荷： ?25uN
  zui大有效加載載荷 ?50mN（或100mN, 出廠前設(shè)定）
  有效載荷分辨率 ?1nN
  zui小接觸力 ?100nN
  zui大壓痕深度 ?100um
  位移分辨率 ?0.0003nm
  位移信號噪聲水平 ?0.03nm
  位移信號穩(wěn)定水平（或熱漂移） 0.008nm/sec
  加載模式 高精度壓電驅(qū)動加載
  位移測量 三個電容位移傳感器
  符合ISO 14577-1敢於監督，2，3標準
  加載模式：
  線性加載結構，連續(xù)加載卸載更合理，二次項加載，恒應(yīng)變速率加載更優美，位移控制加載
  正弦加載（DMA模式）：
  能夠通過一次壓痕獲得接觸剛度各方面、硬度和彈性模量隨壓痕深度的連續(xù)函數(shù)分布；
  能夠測量材料的儲存模量成效與經驗、損耗模量和阻尼
  能夠在壓入過程中通過反饋系統(tǒng)保持恒定的簡諧位移振幅適應性。
  簡諧力頻率范圍: 1Hz to 200Hz
  
  
  XY 工作臺： 120 x 20 mm ，245 x 120 mm （OPX+）
  XY 工作臺位移分辨率 ：0.25 μm 稍有不慎，0.10 μm （選件）
  光學顯微鏡放大倍率： 200x, 4000x
  光學顯微鏡攝像鏡頭： 彩色 768 x 582*

• 主要特點

• 特點
  主動參比測量設(shè)計
  超高熱穩(wěn)定性
  深度與載荷信號的電容傳感器測量
  雙壓電加載裝置（更加可靠的設(shè)計）
  雙載荷傳感器（閉環(huán)力反饋系統(tǒng)）
  符合標準ISO 和 ASTM
  集成自動光學測量系統(tǒng)
  帶有反饋系統(tǒng)的載荷加載裝置
  儀器操作系統(tǒng)軟件包

  可擴展選項
  真空或濕度環(huán)境控制
  原子力顯微鏡
  高分辨率工作臺 （精度0.25微米）
  高分辨率CCD光學顯微鏡
  環(huán)境保護罩