• NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡簡介：

• 可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具

  Park NX20 300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機(jī)動化記得牢。新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實驗室設(shè)計註入了新的力量，可有效地檢測整個300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移更多可能性。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動XY工作臺去創新，但Park的創(chuàng)新性振動隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (?) RMS，通常是0.3 ? RMS的水平緊迫性。

  經(jīng)檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調(diào)整的需求結構，并使Park NX20的掃描過程盡可能高效和便于使用。通過我們的“批處理模式(Program Mode)”界面高效，用戶可以在整個300mmx300mm區(qū)域輕松實現(xiàn)可靠與可重復(fù)的順序多站點測量新的力量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的便利性。

• 專為大樣品晶圓檢測而建

  NX20 300 mm進(jìn)行了全新設(shè)計，可達(dá)到大樣品的測量重要平臺。整個300mm晶圓區(qū)域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測量分析深刻認識。這開啟了一個全新的自動化測量范圍，讓工程師可以更快捷應用提升、更簡便主動性、更精確地開展工作。

• 靈活的300mm樣品吸盤

  Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸發展的關鍵、形狀和類型的晶圓道路，讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品規模設備。

  

• 300mm XY軸工作臺

  機(jī)動化的300mm XY軸工作臺允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動原子力顯微鏡的測量位置。

  

• NX20 支持300mm樣品臺指導，性能已被證實

  因其*的易用性和自動化以及不受影響的精度競爭力，NX20已是FA、QA和QC工程師的選擇進一步完善。憑借其支持300mm電動XY軸工作臺的擴(kuò)大平臺集聚，NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以*的精度檢測更大的樣品調整推進。

• 在完整300mm晶圓上掃描多個位點
  

  SmartScan™允許用戶從位點到位點和樣品到樣品的層面上狀況，借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式，進(jìn)行自動順序測量與表面形態(tài)機製、高度和表面粗糙度的比較全過程。這可以大大提高掃描大樣品時的用戶便利性和生產(chǎn)效率。

• 強大的工作創(chuàng)建功能

  格式創(chuàng)建流程簡單探討，允許工程師設(shè)置每個批次的位置不負眾望、名稱、數(shù)量和類型所定義的預(yù)設(shè)合規意識。

• 針對廣泛應(yīng)用性進(jìn)行優(yōu)化

  NX20 300mm為眾多應(yīng)用提供自動格式的原子力顯微鏡測量密度增加，為納米級的樣品提供高級測量和分析。具有粗糙度創新內容、高度和深度測量機遇與挑戰，缺陷檢查，電氣和磁故障分析服務延伸，熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力共創輝煌，該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇進一步。

  
  

• NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡技術(shù)特色：

  1）采用非接觸式工作模式：

  PARK公司是目前一家真正實現(xiàn)非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家大部分，在不影響測量精度的前提下，可實現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測量實際需求，避免了由于針尖磨損帶來測量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點解決方案。

  

  下圖是測量CrN樣品的實例，CrN樣品的硬度很高善謀新篇，具有三角形結(jié)構(gòu)增產，采用非接觸模式測量100幅圖后，圖像質(zhì)量幾乎無變化方法，針尖幾乎無磨損Ｐ袆恿?。∏袑嵃蜒u度！

  

2）探測器噪聲水平為業(yè)界低：0.02nm

Z軸探測器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進(jìn)之一,它是Park的新型應(yīng)變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲保供，它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲低的Z軸探測器,檢測原子臺階及其容易自行開發。

3）采用性能平板掃描器：采用技術(shù)得三軸分離的平板掃描器，在整個80μm的掃描范圍內(nèi)誤差＜1nm !!!!

4）操作極其簡單：

- 具有“智能掃描模式”Smart scan：這是PARK公司的技術(shù)之一責任，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍應用情況，系統(tǒng)即可自動調(diào)整反饋,無需尋找共振峰,無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

- 具有中文，英文等多種操作界面

- 憑借著我們*的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架深入各系統，懸臂在裝載時激光便已完成聚焦解決問題。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)）讓您可以輕松地找到激光光點作用。由于激光垂直照射在懸臂上相互配合，您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕，將激光光點隨著X軸和Y軸移動著力增加。這樣智能化，您可以在激光準(zhǔn)直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上處理。此時建設，您只需要稍作調(diào)整實現(xiàn)信號的大化，便可開始獲取數(shù)據(jù)助力各行。

5）工業(yè)級別的XEA軟件：具有自動識別前來體驗，自動掃描，自動分析功能首要任務，大大節(jié)約了人工操作的誤差及浪費的時間綠色化。

6）導(dǎo)電原子力顯微鏡：

Park導(dǎo)電原子力顯微鏡在市場中競爭力，不但有著全行業(yè)低的電流噪聲發展，且增益范圍也是大保持穩定，并且可實現(xiàn)電流快速掃描功能，是半導(dǎo)體測試電流的標(biāo)準(zhǔn)面向。

- 業(yè)內(nèi)低的電流噪聲(50fA)

- 業(yè)內(nèi)大的電流(10mA)

• NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)：

  - XY閉環(huán)掃描范圍大：達(dá)100μm*100μm

  - Z向閉環(huán)掃描范圍大：達(dá)15μm

  - 超高的測量分辨率：可達(dá)0.02nm

- 全自動掃描范圍：300mm*300mm

- 具有快速掃描功能：達(dá)50Hz

• NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡部分測試實例：

  

• PARK公司科研級原子力顯微鏡選型指南：

  - XE7型原子力顯微鏡：低預(yù)算客戶的理想選擇

  - NX10型原子力顯微鏡：科研級客戶及工業(yè)檢測實驗室的選擇

  - NX-Hivac真空型原子力顯微鏡：高分辨及保障無氧無水環(huán)境

  - NX12型生物型原子力顯微鏡：神經(jīng)學(xué)支撐作用，生物細(xì)胞檢測及藥物檢測，單細(xì)胞通道客戶的理想選擇

  - XE15型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品及工業(yè)檢測實驗室的選擇

  - NX20型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品建設項目，工業(yè)檢測實驗室及在線檢測的選擇

  工業(yè)級在線原子力顯微鏡詳細(xì)咨詢最為突出！